| 1 |
1
Pb(Mn1/3Nb2/3)-PbTiO3, 스테아린산, 파라핀 왁스 및 카나우바 왁스를 포함하는 정밀사출 성형용 피드스탁 조성물
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 Pb(Mn1/3Nb2/3)-PbTiO3:스테아린산: 파라핀 왁스 및 카나우바 왁스는 55:3∼5:42∼40의 부피%로 혼합되고 파라핀 왁스 및 카나우바 왁스는 70∼90:30∼10의 부피%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 정밀사출 성형용 피드스탁 조성물
|
| 3 |
3
X-선을 이용하여 PMMA 몰드를 제조하는 단계(단계 1); Pb(Mn1/3Nb2/3)-PbTiO3, 스테아린산, 파라핀 왁스 및 카나우바 왁스를 포함하는 조성물 분말을 상기 단계 1에서 제조된 PMMA 몰드에서 사출성형하는 단계(단계 2); 상기 단계 2의 성형물에서 PMMA 몰드를 제거하는 단계(단계 3); 및상기 단계 3에서 PMMA 몰드가 제거된 성형물을 탈지하고 소결하는 단계(단계 4);를 포함하는 마이크로 어레이의 제조방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 단계 1의 PMMA 몰드 제조는 X-선 마스크를 제조하는 단계(단계 1a);X-선 감광용 기판을 제조하는 단계(단계 1b);상기 기판에 상기 마스크를 정렬시킨 후 X-선 노광시키는 단계(단계 1c); 및상기 노광 후 X-선 감광용 기판을 현상시키는 단계(1d);를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이의 제조방법
|
| 5 |
5
제3항에 있어서, 상기 단계 2의 Pb(Mn1/3Nb2/3)-PbTiO3:스테아린산:파라핀 왁스 및 카나우바 왁스는 55:3∼5:42∼40의 부피%로 혼합되고 파라핀 왁스 및 카나우바 왁스는 70∼90:30∼10의 부피%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이의 제조방법
|
| 6 |
6
제3항에 있어서, 상기 단계 2의 사출성형은 노즐 팁 온도 및 노즐 온도는 75∼85 ℃이고, 상기 조성물 분말의 주입 온도는 50∼60 ℃이며, PMMA 몰드의 온도는 45∼50℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이의 제조방법
|
| 7 |
7
제3항에 있어서, 상기 단계 3의 가열은 아세톤을 이용하여 40∼60 ℃에서 60∼90 분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이의 제조방법
|
| 8 |
8
제3항에 있어서, 상기 단계 4의 탈지는 0
|
| 9 |
9
제3항에 있어서, 상기 단계 4의 소결은 5 ℃/min의 속도로 1000∼1100 ℃까지 승온시킨 후 9∼10 시간 동안 온도를 유지하여 수행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이의 제조방법
|
| 10 |
10
제3항의 제조방법으로 제조되는 마이크로 어레이
|
