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캐리어 필름의 상면에 적층된 나노박막을 상기 나노박막의 상측에 위치하는 기판에 접착 및 전사하기 위한 대면적 나노박막 전사 장치에 있어서,상기 캐리어 필름의 하측에 접촉되어 상기 캐리어 필름을 수평방향으로 이송하는 제1압착롤러;상기 기판의 상측에 접촉되어 상기 기판을 수평방향으로 이송하며 상기 기판을 상하방향으로 이송하여 상기 캐리어 필름의 상면에 적층된 나노박막과 접착 및 전사되게 하는 제2압착롤러;상기 기판의 상측에 접촉되어 상기 기판을 이송하여 상기 캐리어 필름의 상면에 적층된 나노박막과 접착 및 전사되게 하는 제2압착롤러; 및 상기 제2압착롤러가 상기 기판을 이송하는 과정에서 상기 기판이 상기 나노박막과 접촉하기 전에 상기 기판의 화학적 반응기가 달라지되, 상기 기판의 표면 형상에는 변화가 없을 정도로 표면처리를 함으로서 상기 기판의 표면 에너지를 증가시켜 상기 기판과 나노박막의 접착력이 증가되게 하는 유전체 장벽 방전 반응기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노박막 전사 장치
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제1항에 있어서, 상기 유전체 장벽 방전 반응기는본체,상기 본체의 내부를 관통하여 삽입되며 내부에 플라즈마 형성을 위한 공정가스가 유입되는 유전체관,상기 본체의 내부에서 상기 유전체관의 일측에 접촉되는 접지전극, 및상기 본체의 내부에서 상기 유전체관의 타측에 접촉되어 고전압을 공급하여 상기 유전체관의 내부에 플라즈마가 발생하여 상기 기판으로 배출되게 하는 전원전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노박막 전사 장치
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제2항에 있어서, 상기 유전체 장벽 방전 반응기는상기 기판의 일단을 권취하는 제1권취롤러, 및상기 접지전극과 상기 제1권취롤러를 연결하는 보조접지전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노박막 전사 장치
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제3항에 있어서, 상기 대면적 나노박막 전사 장치는상기 보조접지전극과 연결되며 상기 제1권취롤러의 외주면에 패턴 코팅되는 코팅막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노박막 전사 장치
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제1항에 있어서, 상기 유전체 장벽 방전 반응기는본체,상기 본체의 내부를 관통하여 삽입되며 내부에 플라즈마 형성을 위한 공정가스가 유입되는 유전체관,상기 기판의 일단을 권취하는 제1권취롤러에 연결되는 접지전극, 및상기 본체의 내부에서 상기 유전체관의 양측에 접촉되어 바이폴라 전압을 공급하는 전원전극인 것을 특징으로 하는 대면적 나노박막 전사 장치
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제5항에 있어서, 상기 대면적 나노박막 전사 장치는상기 접지전극과 연결되며 상기 제1권취롤러의 외주면에 패턴 코팅되는 코팅막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노박막 전사 장치
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제1항에 있어서, 상기 유전체 장벽 방전 반응기는내부에 플라즈마 형성을 위한 공정가스가 유통되는 유로가 형성되는 본체,상기 본체의 상기 기판에 대향하는 대향면에 설치되며 상기 본체의 내부와 외부를 연통하는 다수의 연통홀이 형성되는 접지전극, 및상기 본체의 내부에서 상기 유전체관 내에 접촉되어 고전압을 공급하여 상기 유전체관과 접지전극 사이에 플라즈마를 발생시켜 상기 연통홀로 배출되게 하는 전원전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노박막 전사 장치
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제1항 내지 제7항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서, 상기 대면적 나노박막 전사 장치는상기 제2압착롤러와 수평방향으로 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 기판의 상측에 접촉되어 상기 기판을 수평방향으로 이송하는 제1히팅롤러; 및상기 제1압착롤러와 수평방향으로 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 캐리어 필름의 하측에 접촉되며 상기 캐리어 필름에 열을 가하여 상기 나노박막이 상기 캐리어 필름에서 박리되게 하는 제2히팅롤러;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 나노박막 전사 장치
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