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압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지

  • 기술번호 : KST2015129025
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 상형과 하형이 압착하여 정밀한 성형품을 성형할 때, 예컨대 실리콘웨이퍼에 패턴을 성형할 때 성형할 소재를 탑재하는 하형이 상형에 대해 평행하게 면접촉될 수 있도록 하형의 스테이지의 위치 및 자세를 보정할 수 있도록 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지에 관한 것으로, 몸체를 지지대에 고정할 수 있도록 그 측면에 복수 개의 외부연결부재가 돌출되는 외부프레임; 상기 외부프레임의 수용공간에 수용되고 상하 병진운동 및 요동운동이 가능하게 설치되어, 그 상면에 성형소재를 탑재하는 내부프레임; 및 상기 내부프레임이 평면상에서 전후좌우 병진운동 및 회전운동 가능하게 할 수 있도록 상기 내부프레임과 외부프레임을 연결하는 복수 개의 내부연결부재를 포함하며, 여기서, 상기 외부연결부재를 지지대에 고정하고 상기 내부프레임상에 성형소재를 탑재한 상태에서, 상기 성형소재를 상형으로 압착성형할 때 외부연결부재와 내부연결부재의 탄성에 의해 성형소재의 위치 및 자세가 보정되어 그 상면이 상형의 저면과 평행하게 면접촉되는 것을 특징으로 한다. 편심조정, 성형장치.스테이지, 템플릿, 면외운동, 평면운동, 수동 컴플라이언스, 자가정렬
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020030060342 (2003.08.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0522040-0000 (2005.10.10)
공개번호/일자 10-2005-0022708 (2005.03.08) 문서열기
공고번호/일자 (20051017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.08.29)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최기봉 대한민국 대전광역시유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 강정만 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 ** *층(역삼동, 성보빌딩)(뉴서울국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2003-0323435-85
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document
2003.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2003-5168207-73
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2005.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2005-0002690-32
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2005-0047194-02
6 등록결정서
Decision to grant
2005.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0466493-03
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 수용공간이 형성된 몸체를 가지며, 상기 몸체를 지지대에 고정할 수 있도록 그 측면에 복수 개의 외부연결부재가 돌출되는 외부프레임; 상기 외부프레임의 수용공간에 수용되고 상하 병진운동 및 요동운동이 가능하게 설치되어, 그 상면에 성형소재를 탑재하는 내부프레임; 및 상기 내부프레임이 평면상에서 전후좌우 병진운동 및 회전운동 가능하게 할 수 있도록 상기 내부프레임과 외부프레임을 연결하는 복수 개의 내부연결부재를 포함하며, 여기서, 상기 외부연결부재를 지지대에 고정하고 상기 내부프레임상에 성형소재를 탑재한 상태에서, 상기 성형소재를 상형으로 압착성형할 때 외부연결부재와 내부연결부재의 탄성에 의해 성형소재의 위치 및 자세가 보정되어 그 상면이 상형의 저면과 평행하게 면접촉되는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
2 2
제 1항에 있어서, 상기 외부연결부재는 외부프레임의 몸체와 일체로 형성되고, 상기 외부프레임이 요동운동할 수 있도록 몸체의 내측면에 박판형상으로 돌출되어 탄성을 갖는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
3 3
제 1항에 있어서, 상기 내부연결부재, 외부프레임 및 내부프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
4 4
제 1항에 있어서, 상기 내부연결부재는 상기 외부프레임 내측면과 평행하게 박판의 형태로 절개되어 탄성을 가지며 그 일단부가 상기 외부프레임에 연결되는 한 쌍의 수평부재; 일단부가 상기 각 수평부재의 인접된 자유단부에 연결되고 타단부가 상기 내부프레임에 연결되는 한 쌍의 수직부재;를 포함하며, 상기 수평부재 및 수직부재는 상기 외부연결부재 사이에 형성되어 외부프레임과 내부프레임을 연결하는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
5 5
제 1항에 있어서, 상기 외부프레임, 내부프레임, 및 내부연결부재는 알루미늄재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
6 6
제 1항에 있어서, 상기 내부연결부재는 높이가 상기 외부프레임과 같은 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
7 7
제 1항에 있어서, 상기 내부연결부재는 그 내부에 형성된 슬롯에 탄성부재가 충진되는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
8 8
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 외부연결부재는 외부프레임의 몸체 중심을 향해 3개가 방사방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
9 8
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 외부연결부재는 외부프레임의 몸체 중심을 향해 3개가 방사방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07140866 US 미국 FAMILY
2 US20050048153 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2005048153 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7140866 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.