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초음파를 이용한 세정장치

  • 기술번호 : KST2015129026
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초음파를 이용한 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 이물질을 유리시키기 위해, 진동자를 일측에 구비하는 하우징과, 상기 진동자의 일면에 결합되어 진동자로부터 발진되는 초음파를 웨이퍼의 상면에 도포되는 세정액에 전달하는 로드를 포함하되, 상기 진동자는 니어필드와 파필드로 이루어지는 확산층에 압전소자를 접착하고, 상기 로드는 진동자에서 발생된 초음파를 증폭시키기 위해 직경이 감소하도록 하여 세정하고자 하는 웨이퍼의 이물질을 효과적으로 제거할 수 있도록 하는 초음파를 이용한 세정장치에 관한 것이다.초음파, 세정, 진동자, 니어필드, 파필드, 압전소자, 로드, 반도체, 웨이퍼
Int. CL B08B 3/04 (2006.01) B08B 3/12 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020060102511 (2006.10.20)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0852396-0000 (2008.08.08)
공개번호/일자 10-2008-0035890 (2008.04.24) 문서열기
공고번호/일자 (20080814) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.10.20)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전 유성구
2 임의수 대한민국 대전 유성구
3 김현세 대한민국 서울 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진용석 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 청사오피스텔 ***호 세빈 국제특허법률사무소 (둔산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0759814-48
2 선행기술조사의뢰서(내부)
Request for Prior Art Search (Inside)		 2007.03.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2007-0036642-38
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0460013-41
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0761034-80
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0761035-25
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0080164-58
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.04.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0273586-36
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0273588-27
10 등록결정서
Decision to grant		 2008.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0415119-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
관(41)과; 상기 관(41)의 일측에 결합되어 세정하고자 하는 웨이퍼(70)와 간극을 유지하며 수직방향으로 위치되는 하우징(40)과;상기 하우징(40)의 일측에 웨이퍼(70)와 대향 되도록 구비되어 초음파를 발생시키며, 초음파를 전달하는 초음파 전달체(23) 또는 확산층(22) 중 어느 하나의 일면에 압전소자(10)가 접합되는 구조를 가지는 진동자(30);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
2 2
내부가 비어있는 하우징(43)과;상기 하우징(43)의 일측에 결합되고, 세정하고자 하는 웨이퍼(70)와 대향 되도록 구비되어 초음파를 발생시키며, 초음파를 전달하는 초음파 전달체(23) 또는 확산층(22) 중 어느 하나의 일면에 압전소자(10)가 접합되는 구조를 가지는 진동자(30)와;상기 진동자(30)의 일면에 일정한 직경을 가지며 일측이 결합되되, 상기 진동자(30)로부터 발생된 초음파를 웨이퍼(70)의 상면에 도포되는 세정수(61)에 전달하기 위해, 상기 웨이퍼(70)의 일면과 직각을 이루며 위치되는 로드(42);로 구성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 로드(42)는 진동자(30)와 결합되는 부위에서부터 길이방향으로 직경이 점차 감소되는 로드(42')로 대체되어, 상기 진동자(30)에서 발생된 초음파를 증폭하여 세정하고자 하는 웨이퍼(70)의 상면에 도포되는 세정수(61)에 전달하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
4 4
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 진동자(30)는 전원선(51)으로부터 전원을 인가받는 압전소자(10)의 수축팽창에 의해 초음파를 발생시키는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
5 5
제 3항에 있어서,상기 로드(42, 42')는 석영, 사파이어, 다이아몬드, 유리질 카본 중 하나를 포함하는 유리질 고체물질인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
6 6
제 3항에 있어서,상기 로드(42, 42')는 스테인레스, 티타늄, 알루미늄, 스틸 중 하나를 포함하는 금속물질인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
7 7
제 3항에 있어서,상기 로드(42, 42')는 테플론과 같은 내화학성 재료가 코팅된 금속물질인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
8 8
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 확산층(22)과 초음파 전달체(23)는 석영, 사파이어, 다이아몬드, 유리질 카본 중 하나를 포함하는 유리질 고체물질인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
9 9
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 확산층(22)과 초음파 전달체(23)는 스테인레스, 티타늄, 알루미늄, 스틸 중 하나를 포함하는 금속물질인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
10 10
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 확산층(22)과 초음파 전달체(23)는 테플론과 같은 내화학성 재료가 코팅된 금속물질인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
11 11
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 확산층(22)과 초음파 전달체는(23)는 사각형, 원형, 다각형 중 어느 하나의 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
12 12
제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 진동자(30)와 로드(42, 42')는 일체형인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
13 13
제 2항 또는 제 3항에 있어서상기 진동자(30)와 로드(42, 42')는 대접하는 부위가 서로 결합되는 구조인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
14 14
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 진동자(30)는 사각형, 원형, 다각형 중 어느 하나의 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
15 15
제 4항에 있어서,상기 압전소자(10)는 원형, 사각형, 마름모, 삼각형, 평행사변형 중 어느 하나의 형상으로 초음파 전달체(23), 확산층(22) 중 어느 하나의 일면과 접합되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
16 16
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 진동자(30)는 초음파가 확산되어 중첩되는 확산층(22)의 일면에 접합되는 압전소자(10)로 이루어지되, 상기 압전소자(10)는 압전세라믹(11)의 일면에 다수개의 양극편(13)을 횡과 종으로 일정간격 이격되도록 증착하고, 타면에는 음극부(12)를 증착하는 구조로 이루어져 상기 초음파의 음압편차를 감소시키는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
17 17
제 16항에 있어서,상기 양극편(13)은 너비가 작아질수록 초음파가 발생되는 확산각을 크게 하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 세정장치
18 18
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5 JP2010503998 JP 일본 DOCDBFAMILY
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7 US2009223542 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US2012042913 US 미국 DOCDBFAMILY
9 WO2008048003 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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