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입력되는 교류를 직류로 변환하여 구동전원을 출력하는 구동전원부(P10)와; 직류전원을 공급하고 주파수를 가변 또는 발생시키는 주파수가변부(P20)와; 상기 구동전원부(P10)와 주파수가변부(P20)의 출력신호가 입력되면, 고전압으로 증폭하는 고전압증폭부(P30)와; 상기 고전압증폭부(P30)로 인가되는 증폭신호의 위상차를 가변하여 복수개 이상의 압전액츄에이터(P42, P43, P44)를 순차적으로 구동시키는 위상가변부(P40)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전액츄에이터의 연동파형 고전압증폭 구동장치
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제 1 항에 있어서, 상기 고전압증폭부(P30)는 상기 구동전원부(P10)와 주파수가변부(P20)에서 출력된 저전압신호를 고전압으로 선형적으로 증폭하는 고전압증폭수단(P31)과; 상기 고전압증폭수단(P31)의 출력신호와 상기 위상가변부(P40)의 입력신호의 임피던스를 매칭시키는 임피던스매칭수단(P32)을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전액츄에이터의 연동파형 고전압증폭구동장치
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제 2 항에 있어서, 상기 고전압증폭수단에서 증폭되는 고전압은 0∼200V인 것을 특징으로 하는 압전액츄에이터의 연동파형 고전압증폭구동장치
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복수개이상의 압전액츄에이터를 순차구동하기위한 압전액츄에이터의 구동방법에 있어서, 입력되는 교류를 직류로 변환하여 구동전원을 출력하는 구동전원출력단계(S11)와; 직류전원을 공급하고 주파수를 가변 또는 발생시키는 주파수발생단계(S12, S13)와; 상기 단계에서 구동전원 및 주파수가 발생된 직류전원이 입력되면, 고전압으로 증폭하는 고전압증폭단계(S14)와; 상기 고전압증폭단계에서 증폭되어 입력되는 고전압과 출력전압의 임피던스를 매칭시키는 임피던스매칭단계(S15)와; 상기 임피던스매칭단계이후, 입력되는 전압의 위상을 순차적으로 가변하여 상기 복수개이상의 액츄에이터를 순차적으로 구동하는 압전액츄에이터 순차구동단계(S16, S17)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전액츄에이터의 연동파형 고전압증폭구동방법
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제 4 항에 있어서, 상기 고전압증폭단계(S14)에서 증폭되는 고전압은 0∼200V인 것을 특징으로 하는 압전액츄에이터의 연동파형 고전압증폭구동방법
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제 4 항에 있어서, 상기 고전압증폭단계(S14)에서 증폭되는 고전압은 0∼200V인 것을 특징으로 하는 압전액츄에이터의 연동파형 고전압증폭구동방법
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