| 1 |
1
삭제
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
일정 간격으로 교번 배치되는 요부 및 철부가 형성된 눈금부(110A)를 포함하여 이루어지는 기준자(110);상기 기준자(110)로 입사광을 조사시키고, 상기 기준자(110)로부터 반사되어 나오는 반사광을 집속 출력하는 광 집속 수단(120);상기 광 집속 수단(120)에 의하여 상기 기준자(110)로 입사광이 조사되도록 상기 광 집속 수단(120)으로 광을 입사시키는 레이저 광원(131), 상기 광 집속 수단(120)으로부터 집속 출력된 반사광을 입사받아 측정하는 복수 개의 포토 다이오드(132), 상기 포토 다이오드(132)에서 측정된 적어도 한 쌍의 광신호를 사용하여 위치 정보를 산출하는 계산부(133)를 포함하여 이루어지는 광 측정 수단(130);을 포함하여 이루어지며,상기 기준자(110)와 상기 광 집속 수단(120) 간의 상대적인 위치 이동 시, 상기 광 측정 수단(130)은 트래킹 방법을 적용하되, 상기 포토 다이오드(132)에서는 상기 적어도 한 쌍의 광신호를 각각 측정하고, 상기 각각 측정된 적어도 한 쌍의 광신호 값들의 크기 및 위상차를 이용하여, 위치 이동 크기에 따라 상기 눈금부(110A)에서 지나간 눈금 개수 및 이동 방향을 계측하고, 이를 사용하여 이동 거리 및 방향을 산출하는 것을 특징으로 하며,상기 광 측정 수단(130)은 3빔 방식을 사용하되, 이 때 상기 광 측정 수단(130)은상기 레이저 광원(131)으로부터 발산된 광을 주빔(main beam)인 0차광 및 0차광의 좌우로 형성되는 한 쌍의 부빔(sub beam)인 ±1차광으로 분리 형성시키는 홀로그램을 더 포함하여 이루어지고,상기 기준자(110)로부터 반사되어 온 한 쌍의 부빔의 광신호들의 크기 및 위상차를 이용하여, 위치 이동 크기에 따라 상기 눈금부(110A)에서 지나간 눈금 개수 및 이동 방향을 계측하는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서, 상기 광 측정 수단(130)은상기 눈금부(110A)에 형성된 눈금의 피치(p)와, 눈금 간격 방향과 나란한 방향으로의 한 쌍의 부빔 간의 간격(d)은 하기의 수학식과 같은 관계를 형성하는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
|
| 5 |
5
제 3항에 있어서, 상기 광 측정 수단(130)은상기 홀로그램을 회전시켜 한 쌍의 부빔 간의 간격(d)을 조절하는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
|
| 6 |
6
일정 간격으로 교번 배치되는 요부 및 철부가 형성된 눈금부(110A)를 포함하여 이루어지는 기준자(110);상기 기준자(110)로 입사광을 조사시키고, 상기 기준자(110)로부터 반사되어 나오는 반사광을 집속 출력하는 광 집속 수단(120);상기 광 집속 수단(120)에 의하여 상기 기준자(110)로 입사광이 조사되도록 상기 광 집속 수단(120)으로 광을 입사시키는 레이저 광원(131), 상기 광 집속 수단(120)으로부터 집속 출력된 반사광을 입사받아 측정하는 복수 개의 포토 다이오드(132), 상기 포토 다이오드(132)에서 측정된 적어도 한 쌍의 광신호를 사용하여 위치 정보를 산출하는 계산부(133)를 포함하여 이루어지는 광 측정 수단(130);을 포함하여 이루어지며,상기 기준자(110)와 상기 광 집속 수단(120) 간의 상대적인 위치 이동 시, 상기 광 측정 수단(130)은 트래킹 방법을 적용하되, 상기 포토 다이오드(132)에서는 상기 적어도 한 쌍의 광신호를 각각 측정하고, 상기 각각 측정된 적어도 한 쌍의 광신호 값들의 크기 및 위상차를 이용하여, 위치 이동 크기에 따라 상기 눈금부(110A)에서 지나간 눈금 개수 및 이동 방향을 계측하고, 이를 사용하여 이동 거리 및 방향을 산출하는 것을 특징으로 하며,상기 광 측정 수단(130)은 푸쉬-풀 방식을 사용하되, 이 때 상기 광 측정 수단(130)은상기 레이저 광원(131)은 단일 스폿(spot)의 광을 발산하고, 상기 포토 다이오드(132)는 2분할 소자로 이루어져,상기 기준자(110)로부터 반사되어 온 광이 2분할 양측에서 측정된 한 쌍의 광신호들의 크기 및 위상차를 이용하여, 위치 이동 크기에 따라 상기 눈금부(110A)에서 지나간 눈금 개수 및 이동 방향을 계측하는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
|
| 7 |
7
일정 간격으로 교번 배치되는 요부 및 철부가 형성된 눈금부(110A)를 포함하여 이루어지는 기준자(110);상기 기준자(110)로 입사광을 조사시키고, 상기 기준자(110)로부터 반사되어 나오는 반사광을 집속 출력하는 광 집속 수단(120);상기 광 집속 수단(120)에 의하여 상기 기준자(110)로 입사광이 조사되도록 상기 광 집속 수단(120)으로 광을 입사시키는 레이저 광원(131), 상기 광 집속 수단(120)으로부터 집속 출력된 반사광을 입사받아 측정하는 복수 개의 포토 다이오드(132), 상기 포토 다이오드(132)에서 측정된 적어도 한 쌍의 광신호를 사용하여 위치 정보를 산출하는 계산부(133)를 포함하여 이루어지는 광 측정 수단(130);을 포함하여 이루어지며,상기 기준자(110)와 상기 광 집속 수단(120) 간의 상대적인 위치 이동 시, 상기 광 측정 수단(130)은 트래킹 방법을 적용하되, 상기 포토 다이오드(132)에서는 상기 적어도 한 쌍의 광신호를 각각 측정하고, 상기 각각 측정된 적어도 한 쌍의 광신호 값들의 크기 및 위상차를 이용하여, 위치 이동 크기에 따라 상기 눈금부(110A)에서 지나간 눈금 개수 및 이동 방향을 계측하고, 이를 사용하여 이동 거리 및 방향을 산출하는 것을 특징으로 하며,상기 광 측정 수단(130)은 DPD 방식을 사용하되, 이 때 상기 광 측정 수단(130)은상기 레이저 광원(131)은 단일 스폿(spot)의 광을 발산하고, 상기 포토 다이오드(132)는 4분할 소자로 이루어져,상기 기준자(110)로부터 반사되어 온 광이 4분할 중 한 쌍의 대각선 방향의 광신호들의 합으로 이루어진 한 쌍의 광신호들의 크기 및 위상차를 이용하여, 위치 이동 크기에 따라 상기 눈금부(110A)에서 지나간 눈금 개수 및 이동 방향을 계측하는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
|
| 8 |
8
제 3, 6, 7항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서, 상기 기준자(110)는광을 투과시키는 투명 재질로 형성되어 일측면의 상기 눈금부(110A) 위치에 요철이 형성되는 투명재(111) 및 광을 반사시키는 재질로서 상기 투명재(111)의 요철 형성면 측에 코팅되어 이루어지는 반사재(112)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
|
