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시험편에 가진파를 인가하고, 인가되는 상기 가진파에 따라 공진하는 공진주파수를 측정하는 가진 및 검출부;상기 공진주파수를 검출 가능한 전압으로 증폭하는 증폭부;상기 증폭부로부터 출력되는 공진 주파수를 추종하여 고정 크기의 소스 신호를 생성하는 고정 신호 생성부; 및고정 크기의 소스 신호를 상기 시험편의 편차와 무관하게 일정 크기의 출력신호로 적응시키는 적응 신호 생성부를 포함하고,상기 고정 신호 생성부는,상기 증폭부의 출력을 실효치로 계산하여 출력하는 실효치계산부;외부에서 인가되는 제1 지령치를 상기 실효치로 나눗셈하여 출력하는 제1 제산기; 및상기 증폭부의 출력과 상기 제1 제산기의 출력을 곱셈하여 출력하는 제1 승산기를 포함하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 가진 및 검출부는,상기 시험편에 넓은 대역의 주파수를 가진 가진파를 인가하는 가진 전극; 및상기 시험편 위에 배치되고, 상기 넓은 대역의 주파수 중 특정 영역의 주파수에 공진하는 공진 주파수를 검출하는 검출 전극을 포함하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 증폭부는,상기 공진주파수를 전압 형태로 변환하는 전치증폭기; 및상기 전치증폭기로부터 출력되는 전압을 검출 가능한 크기로 증폭하는 증폭기를 포함하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 적응 신호 생성부는,외부에서 인가되는 제2 지령치를 상기 실효치로 나눗셈하여 출력하는 제2 제산기; 및상기 제2 제산기의 출력과 상기 제1 승산기의 출력을 곱셈하여 출력하는 제2 승산기를 포함하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 제1 지령치는 소정의 공진 주파수를 전압으로 환산한 값이고, 상기 제2 지령치는 상기 시험편의 온도에 따라 변화하는 상기 공진주파수의 편차를 반영한 값인 것을 특징으로 하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 장치
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시험편에 가진파를 인가하고, 인가되는 상기 가진파에 따라 공진하는 공진주파수를 측정하는 가진 및 검출 단계;상기 공진주파수를 검출 가능한 전압으로 증폭하는 공진주파수 증폭 단계;상기 공진 주파수를 추종하여 고정 크기의 소스 신호를 생성하는 고정 소스 신호 생성 단계; 및상기 고정 소스 신호를 상기 시험편의 편차와 무관하게 일정 크기의 출력신호로 적응시키는 적응 신호 생성 단계를 포함하고,상기 고정 소스 신호 생성 단계는,상기 증폭 단계의 출력을 실효치로 계산하여 출력하는 실효치계산단계;외부에서 인가되는 제1 지령치를 상기 실효치로 나눗셈하여 출력하는 제1 제산단계; 및상기 증폭 단계의 출력과 상기 제1 제산 단계의 출력을 곱셈하여 출력하는 제1 승산단계를 포함하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 방법
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제7항에 있어서, 상기 가진 및 검출 단계는,상기 시험편에 넓은 대역의 주파수를 가진 가진파를 인가하는 단계; 및상기 시험편 위에 배치되고, 상기 넓은 대역의 주파수 중 특정 영역의 주파수에 공진하는 공진 주파수를 검출하는 검출 단계를 포함하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 방법
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제7항에 있어서, 상기 공진주파수 증폭 단계는,상기 공진주파수를 전압 형태로 변환하는 전치 증폭 단계; 및상기 전치 증폭 단계로부터의 출력을 검출 가능한 크기로 증폭하는 증폭 단계를 포함하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 방법
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제7항에 있어서, 상기 적응 신호 생성 단계는,외부에서 인가되는 제2 지령치를 상기 실효치로 나눗셈하여 출력하는 제2 제산단계; 및상기 제2 제산단계의 출력과 상기 제1 승산단계의 출력을 곱셈하여 출력하는 제2 승산단계를 포함하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 방법
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제11항에 있어서,상기 제1 지령치는 소정의 공진 주파수를 전압으로 환산한 값이고, 상기 제2 지령치는 상기 시험편의 온도에 따라 변화하는 상기 공진주파수의 편차를 반영한 값인 것을 특징으로 하는 나노 금속 박막 응력 변화 측정 방법
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