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태양전지의 그루브 형성방법 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015129068
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공구 및 전극을 전해액에 수장하는 단계; 상기 공구 및 상기 전극에 전원인가부로부터 전압을 인가하는 단계; 및 상기 공구를 반도체 기판에 접촉시켜 상기 반도체 기판을 용해하는 단계;를 포함하는 태양전지의 그루브 형성방법 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법에 관한 것으로, 공정성, 생산성 및 패턴 정밀도를 향상시킬 수 있는 태양전지를 제공할 수 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 21/306 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01)
출원번호/일자 1020100129234 (2010.12.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1152410-0000 (2012.05.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120712) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.16)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임재홍 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 이규환 대한민국 서울특별시 양천구
3 임동찬 대한민국 경상남도 김해시
4 문성모 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 이창래 대한민국 경상남도 창원시 성산구
6 양철남 대한민국 경상남도 창원시 성산구
7 차수섭 대한민국 경상남도 창원시 의창구
8 이상열 대한민국 경상남도 김해시 장유면
9 김만 대한민국 경상남도 창원시 성산구
10 장도연 대한민국 경상남도 창원시 성산구
11 이주열 대한민국 경상남도 김해시
12 이은경 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인가산 대한민국 서울 서초구 남부순환로 ****, *층(서초동, 한원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0831047-31
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0624866-99
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-1039469-97
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1039476-17
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0285116-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
공구 및 전극을 전해액에 수장하는 단계;상기 공구 및 상기 전극에 전원인가부로부터 전압을 인가하는 단계; 및상기 공구를 반도체 기판에 접촉시켜 상기 반도체 기판을 용해하는 단계;를 포함하고,상기 반도체 기판은 양극이고, 상기 공구는 음극인 것을 특징으로 하는 태양전지의 그루브 형성방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 전해액은 수산화칼륨, 수산화마그네슘, 수산화나트륨, 수산화칼슘을 포함하는 염기성 수용액인 것을 특징으로 하는 태양전지의 그루브 형성방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 반도체 기판은 수평 또는 수직방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 그루브 형성방법
4 4
삭제
5 5
기판을 제공하는 단계;상기 기판 전면에 n형 불순물을 확산시켜 n+ 층을 형성하는 단계;상기 n+ 층 상에 산화막을 형성하는 단계;전기-화학적 식각공정을 이용하여, 상기 기판 전면 내로 그루브를 형성하는 단계; 및상기 그루브 내에 전면전극을 형성하는 단계;를 포함하는 태양전지의 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 전기-화학적 식각공정은,공구 및 전극을 전해액에 수장하는 단계;상기 공구 및 상기 전극에 전원인가부로부터 전압을 인가하는 단계; 및상기 공구를 상기 기판에 접촉시켜 상기 기판을 용해하는 단계;를 포함하고,상기 기판은 양극이고, 상기 공구는 음극인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
7 7
제 5 항에 있어서,상기 기판을 텍스처링하여, 상기 기판의 전면과 후면에 피라미드 구조를 형성하는 단계를 더 포함하는 태양전지의 제조방법
8 8
제 5 항에 있어서,상기 기판의 후면에 p형 불순물을 확산시켜 p+ 층을 형성하는 단계; 및상기 p+층 상부에 후면전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양전지의 제조방법
9 9
제 5 항에 있어서,상기 기판은 수평 또는 수직방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
10 10
삭제
11 11
제 5 항에 있어서,상기 그루브의 식각라인의 폭은 1㎛ 내지 300㎛인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
12 12
제 5 항에 있어서,상기 그루브의 식각라인의 깊이는 1nm 내지 200㎛인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.