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파일럿 버너부의 방전 개시로 상기 파일럿 버너부를 통과하는 연료와 산화제로 플라즈마를 형성하고 상기 플라즈마로 파일럿 화염을 형성하여, 상기 파일럿 버너부의 외측으로 연료와 산화제를 공급하여 주 화염을 형성하는 플라즈마 버너;상기 플라즈마 버너의 일측에 연결되어 상기 파일럿 버너부를 수용하여, 상기 플라즈마 버너 반대측에 개방부를 형성하는 반응로; 및상기 반응로 상에 관통 설치되어 상기 주 화염의 일측에 산화제를 보조로 공급하여 보조 화염을 형성하는 보조 산화제 공급부를 포함하고,상기 플라즈마 버너는,상기 반응로의 일측에 장착되는 하우징, 및상기 하우징에 결합되어 상기 반응로에 연통되는 주 산화제통로 및 연료통로를 형성하고, 상기 파일럿 버너부를 장착하는 바디를 포함하며,상기 파일럿 버너부는,상기 파일럿 산화제통로에 연결되는 파일럿 산화제 출구를 형성하고, 고전압에 연결되는 전극, 및상기 전극의 외주에 이격 배치되어 상기 연료통로에 연결되고, 상기 파일럿 산화제통로의 출구에 연결되는 혼합기통로를 형성하여 접지되는 접지부는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제1 항에 있어서,상기 바디는,상기 하우징과 상기 반응로를 구획하는 판부,상기 판부의 중앙에 연결되어 내부에 상기 연료통로를 형성하는 제1 중공축, 및상기 제1 중공축에 삽입되어 내부에 파일럿 산화제통로를 형성하는 제2 중공축을 포함하는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제3 항에 있어서,상기 혼합기통로는,상기 판부로부터 멀어질수록 상기 전극의 축 방향 중심선에 대하여, 멀어지도록 경사지게 형성되는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제3 항에 있어서,상기 혼합기통로는,상기 전극의 축 방향 중심선에 직교하는 직경 방향에 대하여 곡선으로 형성되고, 상기 전극의 축 방향 중심선에서 멀어지는플라즈마를 이용한 연소장치
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제6 항에 있어서,상기 혼합기통로는,상기 판부로부터 멀어질수록 직경이 커지는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제5 항에 있어서,상기 파일럿 산화제 출구는,상기 전극의 축 방향 중심선에 대하여 직교하는 방향으로 형성되어 상기 혼합기통로에 연결되는플라즈마를 이용한 연소장치
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제3 항에 있어서,상기 혼합기통로는,상기 전극 및 상기 접지부 사이에 원주 방향을 따라 복수로 형성되는플라즈마를 이용한 연소장치
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제3 항에 있어서,상기 연료통로는,상기 판부와 상기 접지부 사이에서, 상기 판부의 중심에서 직경 방향 외곽으로 가면서 곡선으로 형성되는플라즈마를 이용한 연소장치
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제3 항에 있어서,상기 주 산화제통로는,상기 판부와 상기 하우징 사이에 형성되는 제1 산화제통로, 및상기 제1 산화제 통로의 내측 상기 판부에 복수로 형성되는 제2 산화제통로를 포함하는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제11 항에 있어서,상기 제2 산화제 통로는,상기 판부에 직경 방향을 따라 복수로 배치되고,상기 판부에 원주 방향을 따라 복수로 배치되는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제12 항에 있어서,상기 판부는,상기 파일럿 버너 측에서, 상기 판부에 직경 방향으로 형성되고 원주 방향을 따라 상기 제2 산화제 통로와 교호적으로 설치되는 격벽을 더 포함하는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제11 항에 있어서,상기 제2 산화제통로는,상기 판부의 두께 방향으로 관통 형성되며,상기 판부의 원주 방향을 따라 곡선으로 형성되는플라즈마를 이용한 연소장치
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제3 항에 있어서,상기 전극은,상기 판부로부터 멀어질수록 상기 전극의 축 방향 중심선에 가까워지는 경사면으로 형성되고,상기 접지부는 상기 전극을 수용하는 관체로 형성되며,상기 혼합기통로는,상기 판부로부터 멀어질수록 커지는플라즈마를 이용한 연소장치
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제15 항에 있어서,상기 파일럿 산화제 출구는,상기 경사면에 법선 방향으로 형성되어 상기 혼합기통로에 연결되는플라즈마를 이용한 연소장치
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제16 항에 있어서,상기 파일럿 산화제 출구는,상기 전극에 원주 방향을 따라 복수로 형성되고,상기 경사면을 따라 복수로 형성되는플라즈마를 이용한 연소장치
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제1 항에 있어서,상기 플라즈마 버너는상기 반응로의 일측 중앙에 1개로 연결되는플라즈마를 이용한 연소장치
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제1 항에 있어서,상기 플라즈마 버너는상기 반응로의 일측에 복수로 연결되는플라즈마를 이용한 연소장치
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제19 항에 있어서,상기 반응로의 중앙에 연결되는 공정가스 관로를 더 포함하는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제20 항에 있어서,상기 공정가스 관로와 상기 반응로 사이에 설치되는 선회기를 더 포함하는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제1 항에 있어서,상기 하우징은,상기 반응로에 연결되는 추가 산화제통로를 더 포함하는 플라즈마를 이용한 연소장치
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파일럿 버너부의 방전 개시로 상기 파일럿 버너부를 통과하는 산화제로 플라즈마를 형성하고, 상기 파일럿 버너부를 통과하는 연료와 산화제로 상기 플라즈마의 전방에서 파일럿 화염을 형성하여, 상기 파일럿 버너부의 외측으로 연료와 산화제를 공급하여 주 화염을 형성하는 플라즈마 버너;상기 플라즈마 버너의 일측에 연결되어 상기 플라즈마 버너 반대측에 개방부를 형성하는 반응로; 및상기 반응로 상에 관통 설치되어 상기 주 화염의 일측에 산화제를 보조로 공급하여 보조 화염을 형성하는 보조 산화제 공급부를 포함하고,상기 플라즈마 버너는,상기 반응로의 일측에 장착되는 하우징, 및상기 하우징에 결합되어 상기 반응로에 연통되는 주 산화제통로 및 연료통로를 형성하고, 상기 파일럿 버너부를 장착하는 바디를 포함하며,상기 바디는,상기 하우징과 상기 반응로를 구획하는 판부,상기 판부의 중앙에 연결되어 내부에 상기 연료통로를 형성하는 제1 중공축, 및상기 제1 중공축에 삽입되어 내부에 파일럿 산화제통로를 형성하여 접지되는 제2 중공축을 포함하며,상기 파일럿 버너부는,상기 제2 중공축 내에 삽입 배치되어 외표면을 상기 파일럿 산화제통로에 노출하여 고전압에 연결되는 전극을 포함하는 플라즈마를 이용한 연소장치
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제23 항에 있어서,상기 전극은,상기 제2 중공축의 상기 파일럿 산화제통로의 출구와 제1 거리로 이격되고,상기 제2 중공축의 출구는,상기 제1 중공축의 출구와 제2 거리로 이격되는 플라즈마를 이용한 연소장치
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