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마이크로 가공기가 수용되는 챔버 본체;상기 챔버 본체 내로 냉각액을 이송하기 위한 냉각액 이송관;상기 냉각액 이송관에 설치되며, 상기 냉각액 이송관의 냉각액을 상기 챔버 본체 내의 목표 온도에서 포화 액체 상태로 변화시키는 포화 액체 형성부;상기 냉각액 이송관의 출구와 연결되도록 상기 챔버 본체의 내부에 설치되며, 포화 액체 상태의 냉각액을 상기 챔버 본체 내부로 분사하기 위한 분사 기구;상기 챔버 본체의 내부와 연통되며, 상기 챔버 내부의 냉각액이 증발되어 형성된 증기를 상기 냉각액 이송관으로 이송하기 위한 증기 이송관; 및상기 증기 이송관에 설치되며, 상기 증기 이송관의 증기를 응축시키기 위한 컨덴서를 포함하는 마이크로 가공기용 항온 챔버
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제1항에 있어서,상기 분사 기구는 스프링클러 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 가공기용 항온 챔버
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제1항에 있어서,상기 챔버 본체 및 냉각액 이송관의 내부는 상기 냉각액의 끓는점이 상기 목표 온도와 동일한 상태의 압력을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 가공기용 항온 챔버
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제3항에 있어서,상기 챔버 본체 또는 냉각액 이송관에는 상기 챔버 본체 및 냉각액 이송관의 내부 압력을 조절하기 위한 압력 조절 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 가공기용 항온 챔버
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5
제1항에 있어서, 상기 포화 액체 형성부는,상기 냉각액이 상기 목표 온도와 동일한 온도를 유지하도록 상기 냉각액의 온도를 조절하는 온도 조절기; 및상기 냉각액 이송관의 상부에서 분기되어 연장되며, 상기 냉각액 이송관의 냉각액이 증발된 증기를 상기 냉각액 이송관의 외부로 배출하기 위한 증기 배출관을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 가공기용 항온 챔버
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청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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제1항에 있어서,상기 분사 기구에는 내부 증기를 상기 증기 이송관으로 배출하도록 상기 증기 이송관과 연통된 배출관이 연결되는 것을 특징으로 하는 마이크로 가공기용 항온 챔버
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10
제1항에 있어서,상기 챔버 본체의 하부에는 상기 액체 상태의 냉각액을 배출하기 위한 배출구가 형성되며,상기 냉각액 이송관의 입구는 상기 배출구에 연결되는 것을 특징으로 하는 마이크로 가공기용 항온 챔버
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제1항에 있어서,상기 증기 이송관의 출구는 상기 냉각액 이송관에 합류되는 것을 특징으로 하는 마이크로 가공기용 항온 챔버
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12
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