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나노 와이어 그리드 편광자 제작방법

  • 기술번호 : KST2015129143
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법은 기판 상에 반응층을 적층하는 반응층 적층단계; 상기 반응층으로부터 돌출되는 다수의 볼록부를 상호 이격되게 형성하는 볼록부 형성단계; 이웃하는 상기 볼록부 사이의 반응층에 이온빔을 조사함으로써 상기 반응층을 식각하되, 상기 이온빔에 의하여 상기 반응층 중 적어도 일부가 볼록부의 측벽면에 재증착되어 그리드 구조물을 형성하는 그리드 구조물 형성단계; 상기 볼록부를 제거하는 볼록부 제거단계; 상기 이웃하는 그리드 구조물 사이의 기판 상에 적층된 반응층을 제거하는 반응층 제거단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.이에 의하여, 이온빔을 조사하여 식각하는 이온밀링(ion milling) 공정시의 재증착 현상을 이용하여 대면적이 기판 상에 그리드 간의 간격을 미세화하는 동시에 좁은 선폭의 그리드를 가지는 편광자를 용이하게 제작할 수 있는 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법이 제공된다.
Int. CL G02B 5/30 (2006.01)
CPC G02B 5/3058(2013.01) G02B 5/3058(2013.01) G02B 5/3058(2013.01) G02B 5/3058(2013.01)
출원번호/일자 1020110060124 (2011.06.21)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1299564-0000 (2013.08.19)
공개번호/일자 10-2012-0140408 (2012.12.31) 문서열기
공고번호/일자 (20130904) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.21)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최대근 대한민국 대전광역시 유성구
2 정준호 대한민국 대전광역시 서구
3 최준혁 대한민국 대전광역시 유성구
4 이지혜 대한민국 대전광역시 유성구
5 정주연 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0470802-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.02.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.03.23 수리 (Accepted) 9-1-2012-0024598-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0341178-14
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.08.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0648065-84
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0648046-16
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0727047-95
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0067061-19
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0067047-80
10 등록결정서
Decision to grant
2013.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0356734-86
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 반응층을 적층하는 반응층 적층단계;상기 반응층으로부터 돌출되는 다수의 볼록부를 상호 이격되게 형성하는 볼록부 형성단계;이웃하는 상기 볼록부 사이의 반응층에 이온빔을 조사함으로써 상기 반응층을 식각하되, 상기 이온빔에 의하여 상기 반응층 중 적어도 일부가 상기 볼록부의 측벽면에 재증착되어 그리드 구조물을 형성하는 그리드 구조물 형성단계;상기 볼록부를 제거하는 볼록부 제거단계;상기 이웃하는 그리드 구조물 사이의 기판 상에 적층된 반응층을 제거하는 반응층 제거단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법
2 2
제1항에 있어서,상기 반응층 적층단계에서 상기 기판 상에 적층되는 반응층의 두께를 조절함으로써 상기 그리드 구조물의 폭을 조절하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법
3 3
제1항에 있어서,상기 그리드 구조물 형성단계에서 상기 이온빔의 조사각도, 조사시간을 조절함으로써 상기 그리드 구조물의 폭을 조절하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법
4 4
기판 상에 상호 이격되는 다수의 볼록부와 상기 볼록부보다 낮은 높이의 오목부를 반복 형성하는 패터닝단계;상기 볼록부와 오목부의 상면에 반응층을 적층하는 반응층 적층단계;상기 반응층에 이온빔을 조사함으로써 상기 반응층을 식각하되, 상기 이온빔에 의하여 상기 오목부 상에 적층된 반응층 중 적어도 일부가 상기 볼록부의 측벽면에 재증착되어 그리드 구조물을 형성하는 그리드 구조물 형성단계;를 포함하고, 상기 반응층 적층단계에서 상기 오목부의 상면에 적층되는 반응층의 두께에 따라 재증착으로 인하여 형성되는 상기 그리드 구조물의 폭이 조절되는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법
5 5
삭제
6 6
제4항에 있어서,상기 그리드 구조물 형성단계에서 상기 이온빔의 조사각도, 조사시간을 조절함으로써 상기 그리드 구조물의 폭을 조절하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법
7 7
제4항에 있어서,상기 반응층 적층단계와 상기 그리드 구조물 형성단계를 반복 수행하되, 반복횟수를 조절함으로써 상기 그리드 구조물의 폭을 조절하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법
8 8
제4항, 제6항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 그리드 구조물과 상기 기판의 사이에 개재되는 오목부를 제외한 오목부 및 상기 볼록부를 제거하는 제거단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 와이어 그리드 편광자 제작방법
9 9
제4항, 제6항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 볼록부와 상기 오목부는 광투과성을 가지는 것을 특징으로 하는 나노와이어 그리드 편광자 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 지식경제부 한국기계연구원 주요사업-일반 3차원 나노구조체 제조기술 고도화 사업