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차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지

  • 기술번호 : KST2015129144
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지를 개시한다. 본 발명은, 외부장치에 고정되는 하우징과, 상기 하우징으로부터 소정간격 이격되어 상기 하우징의 내부에 배치되는 이동플레이트와, 상기 하우징과 상기 이동플레이트에 연결되는 힌지부와, 상기 하우징과 상기 이동플레이트 사이에 배치되어 상기 이동플레이트와 접촉하여 차분력을 생성하고 상기 차분력에 의하여 상기 이동플레이트의 변위를 가변시키는 압전소자를 포함한다.
Int. CL H02N 2/12 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)
CPC H02N 2/028(2013.01) H02N 2/028(2013.01) H02N 2/028(2013.01)
출원번호/일자 1020110062154 (2011.06.27)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1301034-0000 (2013.08.22)
공개번호/일자 10-2013-0006908 (2013.01.18) 문서열기
공고번호/일자 (20130828) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시 서구
3 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
4 임형준 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)
2 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0486645-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.04.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.05.18 수리 (Accepted) 9-1-2012-0037754-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0379941-79
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0527090-66
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0527057-69
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0800365-45
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0060254-16
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0060235-59
10 등록결정서
Decision to grant
2013.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0376516-08
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외부장치에 고정되는 하우징과,상기 하우징으로부터 소정간격 이격되어 상기 하우징의 내부에 배치되는 이동플레이트와,상기 하우징과 상기 이동플레이트에 연결되는 힌지부와,상기 하우징과 상기 이동플레이트 사이에 배치되어 상기 이동플레이트와 접촉하여 차분력을 생성하고 상기 차분력에 의하여 상기 이동플레이트의 변위를 가변시키는 압전소자를 포함하되,상기 압전소자는 상기 이동플레이트와 접촉하여 제 1 방향으로 상기 이동플레이트를 가력하는 복수개의 제 1 방향압전소자를 구비하고,상기 복수개의 제 1 방향압전소자는, 상기 이동플레이트와 상기 하우징 사이에 상기 제 1 방향으로 배치되는 제 1 압전소자와, 상기 제 1 압전소자와 반대편의 상기 이동플레이트와 상기 하우징 사이에 상기 제 1 방향으로 배치되는 복수개의 제 2 압전소자를 포함하고, 상기 제 1 압전소자와 상기 복수개의 제 2 압전소자는 서로 평행하게 배치되는 차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지
2 2
청구항 1에 있어서,상기 힌지부는 복수개를 포함하고,상기 복수개의 힌지부들은 서로 소정간격 이격되도록 배치되는 차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
청구항 1에 있어서,상기 제 1 압전소자와 상기 복수개의 제 2 압전소자에 인가되는 전압의 차는 상기 제 1 방향으로 상기 이동플레이트의 변위를 생성 가능한 전압과 동일한 차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지
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청구항 1에 있어서,상기 복수개의 제 2 압전소자에 인가되는 전압의 차는 상기 이동플레이트의 회전변위를 생성하기 위한 전압과 동일한 차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지
7 7
청구항 1에 있어서,상기 압전소자는,상기 제 1 방향과 직각을 형성하는 제 2 방향으로 배치되어 상기 이동플레이트를 가력하는 제 2 방향압전소자를 더 포함하는 차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지
8 8
청구항 1에 있어서,상기 압전소자의 일면과 접촉하도록 상기 하우징에 설치되는 위치조절부를 더 포함하는 차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지
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청구항 8에 있어서,상기 위치조절부는,상기 하우징에 삽입되는 설치되는 볼 플린저인 차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국기계연구원 교과부-국가연구개발사업(I) UV기반 나노 임프린팅 장비기술 개발 (7/7)
2 기타 한국표준과학연구원 공공기관수탁-기타(기관고유) 분광이미징 핵심요소기술 개발