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무기고체층을 포함하는 플렉서블 장치 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015129151
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플렉서블 장치 제조 방법은 마더 기판 상에 희생층을 형성하는 단계, 상기 희생층 상에 무기고체층을 형성하는 단계, 상기 희생층의 일부를 제거하여 상기 무기고체층을 상기 마더 기판에 지지하는 하나 이상의 희생 지지부를 형성하는 단계, 상기 희생 지지부로부터 상기 무기고체층을 분리하는 단계, 및 상기 무기고체층을 플렉서블 기판에 부착하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 29/786 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 27/1266(2013.01) H01L 27/1266(2013.01)
출원번호/일자 1020110044690 (2011.05.12)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1093133-0000 (2011.12.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20111212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.12)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재현 대한민국 대전 유성구
2 이학주 대한민국 대전 서구
3 최현주 대한민국 대전 유성구
4 장봉균 대한민국 대전 유성구
5 최병익 대한민국 대전 서구
6 김준동 대한민국 대전 유성구
7 김광섭 대한민국 대전 유성구
8 김경식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0351928-59
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0416902-20
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.06.28 수리 (Accepted) 9-1-2011-0055640-04
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0411256-18
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0735853-29
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0735854-75
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0679063-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마더 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;상기 희생층 상에 무기고체층을 형성하는 단계;상기 희생층의 일부를 제거하여 상기 무기고체층을 상기 마더 기판에 지지하는 하나 이상의 희생 지지부를 형성하는 단계;상기 희생 지지부로부터 상기 무기고체층을 분리하는 단계; 및상기 무기고체층을 플렉서블 기판에 부착하는 단계를 포함하며,상기 마더 기판은 상기 마더 기판을 관통하는 하나 이상의 관통홀을 포함하며,상기 희생 지지부를 형성하는 단계는 상기 관통홀을 통해 상기 희생층에 식각액을 접촉시키는 단계를 포함하는 플렉서블 장치 제조 방법
2 2
제1항에서,상기 마더 기판은 실리콘, 유리(glass), 사파이어 및 석영 중 하나 이상을 포함하며,상기 플렉서블 기판은 수지(resin)을 포함하는 플렉서블 장치 제조 방법
3 3
제1항에서,상기 희생 지지부를 형성하는 단계는 습식 식각 공정을 이용해 수행하는 플렉서블 장치 제조 방법
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제1항에서,상기 희생 지지부로부터 상기 무기고체층을 분리하는 단계 및 상기 무기고체층을 플렉서블 기판에 부착하는 단계는 스탬프(stamp) 공정을 이용해 수행하는 플렉서블 장치 제조 방법
9 9
제8항에서,상기 스탬프 공정에 사용되는 스탬프는 점탄성을 가지는 플렉서블 장치 제조 방법
10 10
제1항에서,상기 희생 지지부로부터 상기 무기고체층을 분리하는 단계 및 상기 무기고체층을 플렉서블 기판에 부착하는 단계는 롤투롤(roll to roll) 공정을 이용해 수행하는 플렉서블 장치 제조 방법
11 11
제1항에서,상기 무기고체층은 반도체 특성을 가지는 무기 반도체층인 플렉서블 장치 제조 방법
12 12
제1항 내지 제3항 및 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따른 플렉서블 장치 제조 방법에 의해 제조된 무기고체층을 포함하는 플렉서블 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부,교육과학기술부 기계연구원,기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II),교과부-국가연구개발사업(I) 멀티스케일 소자/패턴 전사 공정 및 모듈화 기술 개발(2/3),10nm급 측정 원천기술개발 (4/4)