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진공 열처리 장치로서,급속 가열을 가능하게 하는 투명 석영 배관으로 이루어지는 히터가 형성된 가열로와;상기 가열로의 내에 형성되며, 내측에 시편을 거치하기 위한 시편 거치대와 가스를 고르게 확산 공급하기 위해 다수의 가스 배출 구멍을 갖는 가스공급노즐을 수용하는 진공 챔버와;상기 가스공급노즐과 연결되는 가스공급기를 제어하여 진공 챔버 내의 가스 분위기를 조절할 수 있도록 하는 가스제어기와;상기 진공 챔버의 압력과 진공도를 측정하여 조절하도록 하는 진공제어기와;상기 가열로의 승온 및 냉각속도 제어와 단계별 온도제어가 가능한 온도제어기; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 급속 온도 제어 및 분위기 제어 가능한 진공 열처리 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 진공 챔버와 시편 거치대 및 가스공급노즐은 투명석영으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 급속 온도 제어 및 분위기 제어 가능한 진공 열처리 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 가스공급기는 가스의 유량을 효율적으로 제어할 수 있도록 질량유량계를 구비하는 것을 특징으로 하는 급속 온도 제어 및 분위기 제어 가능한 진공 열처리 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 히터는 내부에 적외선 방출을 위한 니켈-크롬 열선이 형성된 석영 관으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 급속 온도 제어 및 분위기 제어 가능한 진공 열처리 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 가열로의 내벽 면에는 금으로 코팅된 반사판이 형성되는 것을 특징으로 하는 급속 온도 제어 및 분위기 제어 가능한 진공 열처리 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 온도제어기의 경우 승온 속도를 1/min~150/min의 범위내로, 냉각속도를 1/min~200/min의 범위 내에서 조절할 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 급속 온도 제어 및 분위기 제어 가능한 진공 열처리 장치
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청구항 6에 있어서, 상기 온도제어기는 승온 속도 및 냉각속도의 제어를 단계(step) 별로 혼용하여 조절할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 급속 온도 제어 및 분위기 제어 가능한 진공 열처리 장치
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