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오존을 생성하기 위한 고농도 오존생성장치(11)가 설치되며, 상기 고농도 오존생성장치(11)를 통한 오존가스를 순수와 혼합하여 오존 기능수를 제조하는 오존 기능수 제조장치(10);상기 오존 기능수 제조장치(10)의 오존 기능수 농도를 측정하는 오존 기능수 농도측정장치(20);상기 오존 기능수 농도측정장치(20)에서 측정된 오존 기능수 농도에 따라 제어신호를 전달받아, 상기 고농도 오존생성장치(11)에 공급되는 방전전력을 제어함으로써 생성되는 오존가스의 농도를 균일하게 조절하는 방전전력 제어장치(30);상기 오존 기능수 제조장치(10)에서 제조된 오존 기능수가 저장되되, 내부 잔류오존은 오존 기능수 제조장치(10)에 리턴시켜 제공하는 리턴 배관라인(L2)이 형성된 오존 기능수 저장탱크(40);순수를 형성하여 배출하는 순수 공급장치(50);상기 오존 기능수 저장탱크(40) 및 순수 공급장치(50)에서 배출되는 오존 기능수 또는 순수의 배출유량을 각각 미세제어하는 제 1, 2액체유량 제어장치(60, 61)(Liquid MFC);상기 오존 기능수 저장탱크(40)의 오존 기능수와 순수 공급장치(50)의 순수를 자연혼합하여 공정 기능수를 제조함으로써, 다수의 웨이퍼를 일괄적으로 세정하는 배치식(Batch) 세정공정설비(100)에 공정 기능수를 제공하며, 내부 잔류오존은 오존 기능수 제조장치(10)에 리턴시켜 제공하는 리턴 배관라인(L2)이 형성된 혼합탱크(70);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 균일농도 기능수 제조장치
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오존을 생성하기 위한 고농도 오존생성장치(11)가 설치되며, 상기 고농도 오존생성장치(11)를 통한 오존가스를 순수와 혼합하여 오존 기능수를 제조하는 오존 기능수 제조장치(10);상기 오존 기능수 제조장치(10)의 오존 기능수 농도를 측정하는 오존 기능수 농도측정장치(20);상기 오존 기능수 농도측정장치(20)에서 측정된 오존 기능수 농도에 따라 제어신호를 전달받아, 상기 고농도 오존생성장치(11)에 공급되는 방전전력을 제어함으로써 생성되는 오존가스의 농도를 균일하게 조절하는 방전전력 제어장치(30);상기 오존 기능수 제조장치(10)에서 제조된 오존 기능수가 저장되되, 내부 잔류오존은 오존 기능수 제조장치(10)에 리턴시켜 제공하는 리턴 배관라인(L2)이 형성된 오존 기능수 저장탱크(40);순수를 형성하여 배출하는 순수 공급장치(50);상기 오존 기능수 저장탱크(40) 및 순수 공급장치(50)에서 배출되는 오존 기능수 또는 순수의 배출유량을 각각 미세제어하는 제 1, 2액체유량 제어장치(60, 61)(Liquid MFC);상기 오존 기능수 저장탱크(40)의 오존 기능수와 순수 공급장치(50)의 순수를 강제혼합하여 공정 기능수를 제조함으로써, 다수의 웨이퍼를 낱장으로 연속세정하는 연속식(In-Line) 세정공정설비(110)에 공정 기능수를 제공하는 스태틱 믹서장치(80);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 균일농도 기능수 제조장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,세정공정설비에서 요구하는 공정 기능수의 농도에 맞춰, 오존 기능수와 순수가 사전 데이터베이스화되어 있는 혼합비율로 혼합될 수 있도록, 상기 제 1, 2액체유량 제어장치(60, 61)를 통해 오존 기능수 및 순수의 토출유량을 각각 제어하는 제어장치(90);상기 제 1, 2액체유량 제어장치(60, 61)를 통해 혼합되어진 공정 기능수의 농도를 측정하여 제어장치(90)에 전달하는 공정 기능수 농도측정장치(91);가 구비되는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 균일농도 기능수 제조장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 오존 기능수 제조장치(10)에서는 세정공정설비에서 요구하는 공정 기능수의 농도보다 상대적으로 높은 농도의 오존 기능수를 균일하게 제조하고,상기 오존 기능수보다 상대적으로 낮은 농도의 공정 기능수는, 상기 오존 기능수와 순수를 제 1, 2액체유량 제어장치(60, 61)를 통해 사전설정된 혼합비율로 혼합시켜 균일농도로 제조되는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 균일농도 기능수 제조장치
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생성된 오존과 순수를 혼합하여 오존 기능수를 제조하는 단계(S100);상기 오존 기능수의 농도를 측정하는 단계(S200);상기 오존 기능수의 측정농도에 따라 생성되는 오존의 농도를 조절하여, 세정공정설비에서 요구하는 공정 기능수의 농도보다 상대적으로 높은 농도의 오존 기능수를 균일농도로 제조하는 단계(S300);상기 오존 기능수를 저장하는 단계(S400);상기 오존 기능수를 순수와 사전설정된 혼합비율로 자연혼합시켜 공정 기능수를 제조 및 저장하는 단계(S500);상기 공정 기능수의 농도를 측정하는 단계(S600);상기 공정 기능수의 농도가 세정공정설비에서 요구하는 농도로 균일하게 제조될 수 있도록, 공정 기능수와 순수의 혼합비율을 조절하는 단계(S700);상기 공정 기능수를 배치식 세정공정설비(100)에 제공하여 다수의 웨이퍼를 세정하는 단계(S800);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 균일농도 기능수 제조방법
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생성된 오존과 순수를 혼합하여 오존 기능수를 제조하는 단계(S100);상기 오존 기능수의 농도를 측정하는 단계(S200);상기 오존 기능수의 측정농도에 따라 생성되는 오존의 농도를 조절하여, 세정공정설비에서 요구하는 공정 기능수의 농도보다 상대적으로 높은 농도의 오존 기능수를 균일농도로 제조하는 단계(S300);상기 오존 기능수를 저장하는 단계(S400);상기 오존 기능수를 순수와 사전설정된 혼합비율로 강제혼합시켜 공정 기능수를 제조하는 단계(S500');상기 공정 기능수의 농도를 측정하는 단계(S600);상기 공정 기능수의 농도가 세정공정설비에서 요구하는 농도로 균일하게 제조될 수 있도록, 공정 기능수와 순수의 혼합비율을 조절하는 단계(S700);상기 공정 기능수를 연속식 세정공정설비(110)에 제공하여 다수의 웨이퍼를 세정하는 단계(S800');로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 균일농도 기능수 제조방법
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