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롤 스탬프 제조장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015129171
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대형 디스플레이, 박막 태양전지 등의 다양한 분야에 활용될 수 있는 기능성 필름의 패터닝을 위해 필수적인 요소인 대형 롤 스탬프의 제조를 위한 롤 스탬프 제조장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표면에 레지스트 막이 코팅된 베어롤과 표면에 패턴이 기 형성된 소형의 마스터롤을 접촉시킨 후 회전시켜 베어롤 표면에 패턴을 전사하고 이동하여 순차적으로 패턴을 전사하여 베어롤 전체에 패턴을 형성시킴으로서 대형의 롤 스탬프를 제작할 수 있는 롤 스탬프 제조장치 및 방법에 관한 것이다.
Int. CL B29C 33/42 (2006.01) B29C 59/04 (2006.01)
CPC B29D 99/0035(2013.01) B29D 99/0035(2013.01) B29D 99/0035(2013.01) B29D 99/0035(2013.01) B29D 99/0035(2013.01) B29D 99/0035(2013.01) B29D 99/0035(2013.01)
출원번호/일자 1020110063538 (2011.06.29)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1091960-0000 (2011.12.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20111209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재종 대한민국 대전 서구
2 임형준 대한민국 대전 유성구
3 최기봉 대한민국 대전 유성구
4 김기홍 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0495913-18
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0496153-93
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0507690-47
4 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee		 2011.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0059929-15
5 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee		 2011.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0060936-60
6 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0533779-66
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0566989-56
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0786475-58
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0786481-22
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0650528-26
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외주면에 레지스트(111)가 코팅된 베어롤(110)이 장착되어 X축을 중심으로 회전되도록 형성되는 회전 스테이지(100);상기 회전 스테이지(100)와 일정거리 이격되어 나란하게 형성되는 고정대(210), 및 상기 고정대(210)를 따라 X축 방향으로의 위치가 조절되는 이송대(220)를 포함하여 이루어지는 이송 스테이지(200);상기 이송대(220)의 일측에 결합되되, X축을 중심으로 회전가능하며 외주면에 패턴이 형성된 마스터롤(310)을 포함하여 이루어지며, 상기 마스터롤(310)은 X축과 Z축 방향으로의 위치조절, Y축을 중심으로 회전각도 조절 및 Y축 방향 가압량이 조절되는 마스터롤 헤드 유닛(300);상기 이송대(220)의 타측에 결합되어 상기 베어롤(110) 외주면의 레지스트(111)를 경화시키는 레지스트 경화 유닛(400); 및상기 레지스트 경화 유닛(400)의 일측에 결합되며, 상기 마스터롤 헤드 유닛(300)의 X축 방향 위치를 측정하는 스티칭 정렬 유닛(500); 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프 제조장치
2 2
제1항에 있어서,상기 마스터롤 헤드 유닛(300)은 외주면에 나노패턴(311)이 형성된 마스터롤(310), 및 상기 마스터롤(310)이 X축을 중심으로 회전 가능하게 결합되는 고정브라켓(320)을 포함하는 마스터롤 뭉치(330);상기 마스터롤 뭉치(330)와 결합되어 상기 마스터롤 뭉치(330)의 X축과 Z축 방향으로의 위치를 나노미터 단위로 조절 및 Y축을 중심으로 회전각도를 조절하는 마스터롤 위치 조절 수단(340); 및상기 마스터롤 위치 조절 수단(340)에 일측이 결합되고 타측은 상기 이송대(220)에 결합되어, 상기 마스터롤 뭉치(330)의 Y축 방향으로의 가압량을 조절하는 마스터롤 가압 수단(350); 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프 제조장치
3 3
제2항에 있어서,상기 고정 브라켓(320), 마스터롤 위치 조절 수단(340), 마스터롤 가압 수단(350), 및 이송대(220)는 각각 관통부가 형성되어, 상기 마스터롤(310)과 상기 레지스트 경화 유닛(400)이 연통되는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프 제조장치
4 4
제3항에 있어서,상기 이송 스테이지(200)의 이송대(220)는 마이크로미터 단위로 이동이 조절되고,상기 회전 스테이지(100)에 장착되는 베어롤(110)의 외주면에 일정한 간격으로 마이크로 패턴(112)이 형성되고 그 위에 상기 레지스트(111)가 코팅되며, 상기 마스터롤(310)은 나노패턴(311)이 형성된 외주면 내부에 일정한 간격으로 마이크로 패턴(312)이 형성되어, 상기 스티칭 정렬 유닛(500)에서 모아레법을 이용하여 상기 베어롤(110)과 마스터롤(310)의 상대위치를 나노미터 단위로 측정하는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프 제조장치
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 롤 스탬프 제조장치를 이용한 롤 스탬프 제조방법에 있어서,외주면에 레지스트(111)가 코팅된 베어롤(110)을 상기 회전 스테이지(100)에 장착하는 베어롤 장착단계(S10);상기 이송 스테이지(200)의 이송대(220)를 초기 위치로 이동시키고, 상기 마스터롤(310)의 X축과 Z축 방향으로의 위치조절 및 Y축을 중심으로 회전각도를 조절하는 마스터롤 정렬단계(S20);상기 마스터롤(310)을 Y축 방향으로 가압하여 상기 베어롤(110)과 접촉시킨 후 회전시켜 상기 마스터롤(310)에 형성된 패턴을 상기 베어롤(110) 외주면의 레지스트(111)에 전사시키면서 동시에 레지스트 경화 유닛(400)에 의해 레지스트(111)를 경화시키는 패턴 형성단계(S30);상기 이송대(220)를 다음 패턴을 형성하고자 하는 위치로 이동시키고, 상기 스티칭 정렬 유닛(500)으로 X축 방향 위치를 측정하여 상기 마스터롤(310)의 X축 방향 위치를 조절하는 스티칭 정렬단계(S40); 및상기 S30단계와 S40단계를 번갈아 수행하여 상기 베어롤(110)의 외주면 전체 레지스트(111)에 패턴을 전사시키고 경화시켜 롤 스탬프를 완성하는 연속패턴 형성단계(S50); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.