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베이스 판;상기 베이스 판 상에 형성되고, 제조하고자 하는 금속메쉬의 형상과 대응되는 형상의 메쉬층;상기 베이스 판 상에 형성되고, 상기 메쉬층 간의 사이 공간에 위치하는 금속재-절연재 복합층; 및상기 금속재-절연재 복합층 상에 형성되고, 상기 메쉬층 간의 사이 공간에 위치하는 절연층을 포함하며,상기 금속메쉬는 상기 메쉬층에 형성되는 전주 마스터
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제 1 항에 있어서,상기 금속재-절연재 복합층은 금속재 및 절연재를 포함하며, 상기 절연재는 상기 금속재의 표면으로부터 돌출되는 것을 특징으로 하는 전주 마스터
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제 1 항에 있어서,상기 절연재는 SiC, SiO2, Al2O3, 다이아몬드 또는 ZrO2 이고, 상기 금속재는 무전해도금법에 의해 형성되는 니켈 도금층인 것을 특징으로 하는 전주 마스터
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제 1 항에 있어서,상기 절연층은 에폭시 수지, 테프론계 수지 또는 불소 수지인 것을 특징으로 하는 전주 마스터
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제 1 항에 있어서,상기 베이스 판은 드럼형 또는 평판형인 것을 특징으로 하는 전주 마스터
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베이스 판을 제공하는 단계;상기 베이스 판 상에 제조하고자 하는 금속메쉬의 형상과 대응되는 형상의 메쉬층을 형성하는 단계;상기 베이스 판 상에, 상기 메쉬층 간의 사이 공간에 위치하는 금속재-절연재 복합층을 형성하는 단계; 및상기 금속재-절연재 복합층 상에, 상기 메쉬층 간의 사이 공간에 위치하는 절연층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 절연재는 상기 금속재의 표면으로부터 돌출되는 것을 특징으로 하며,상기 금속메쉬는 상기 메쉬층에 형성되는 전주 마스터의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 금속재-절연재 복합층을 형성하는 단계는, 제조하고자 하는 금속메쉬의 형상과 대응되는 형상의 메쉬층을 포함하는 베이스 판 상에 상기 절연재를 분산시킨 후, 무전해도금법에 의해 상기 금속재를 형성하는 것인 전주 마스터의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 절연재는 SiC, SiO2, Al2O3, 다이아몬드 또는 ZrO2 이고, 상기 금속재는 니켈 도금층인 것을 특징으로 하는 전주 마스터의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 절연층을 형성하는 단계는,상기 금속재-절연재 복합층을 포함하는 베이스 판 상에 스프레이법 또는 증착법에 의해 절연층 물질을 도포하고, 상기 도포된 절연층 물질을 화학적 기계적 연마(CMP:Chemical Mechanical Polishing) 공정으로 그 단면을 평탄화하여 형성하는 것인 전주 마스터의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 절연층은 에폭시 수지, 테프론계 수지 또는 불소 수지인 것을 특징으로 하는 전주 마스터의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 화학적 기계적 연마(CMP:Chemical Mechanical Polishing) 공정시, 상기 메쉬층의 상부에 형성된 상기 금속재-절연재 복합층을 제거하는 것을 특징으로 하는 전주 마스터의 제조방법
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