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유기 금속 화합물의 전구체를 포함하는 혼합물에 대해 졸-겔(sol-gel) 반응을 유도하여 패턴 형성용 잉크를 형성하고,분사 노즐을 포함하는 미세 패턴 형성 장치에 상기 패턴 형성용 잉크를 공급하고,상기 노즐을 통해 상기 패턴 형성용 잉크를 토출하여 패턴이 형성될 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 것을 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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제1 항에 있어서,상기 미세 패턴 형성 장치는, 상기 기판을 지지하고 상기 기판을 제1 방향 및 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 이동시키는 기판 스테이지와, 상기 노즐을 지지하고 상기 노즐을 상하 방향으로 이동시키는 노즐 스테이지를 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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제1 항에 있어서,상기 소정의 패턴이 제1 데이터로 저장되어 있을 경우, 상기 제1 데이터를 제2 데이터로 변환하는 것을 더 포함하되,상기 제2 데이터는 상기 미세 패턴 형성 장치가 상기 소정의 패턴을 인식할 수 있는 코드를 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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제1 항에 있어서,상기 혼합물은 극성 용매를 더 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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제4 항에 있어서,상기 혼합물은 상기 유기 금속 화합물의 전구체와 상기 극성 용매를 혼합하고 교반하여 형성된 미세 패턴의 형성 방법
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제5 항에 있어서,상기 패턴 형성용 잉크는 상기 혼합물의 상기 극성 용매를 증발시켜 상기 유기 금속 화합물의 전구체를 농축시켜 형성된 미세 패턴의 형성 방법
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7
나노 입자를 포함하는 패턴 형성용 잉크를 형성하고,분사 노즐을 포함하는 미세 패턴 형성 장치에 상기 패턴 형성용 잉크를 공급하고,상기 노즐을 통해 상기 패턴 형성용 잉크를 토출하여 패턴이 형성될 기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 것을 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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제7 항에 있어서, 상기 미세 패턴 형성 장치는, 상기 기판을 지지하고 상기 기판을 제1 방향 및 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 이동시키는 기판 스테이지와,상기 노즐을 지지하고 상기 노즐을 상하 방향으로 이동시키는 노즐 스테이지를 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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제7 항에 있어서,상기 소정의 패턴이 제1 데이터로 저장되어 있을 경우, 상기 제1 데이터를 제2 데이터로 변환하는 것을 더 포함하되,상기 제2 데이터는 상기 미세 패턴 형성 장치가 상기 소정의 패턴을 인식할 수 있는 코드를 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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10
제7 항에 있어서,상기 패턴 형성용 잉크를 형성하는 것은, 나노 입자 전구체를 극성 용매에 용해시켜 제1 혼합액을 형성하는 것을 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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11
제10 항에 있어서,상기 패턴 형성용 잉크를 형성하는 것은, 분산 안정화제와 극성 용매를 혼합하여 제2 혼합액을 형성하고, 상기 제1 혼합액과 상기 제2 혼합액을 혼합하여 제3 혼합액을 형성하는 것을 더 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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제11 항에 있어서,상기 패턴 형성용 잉크를 형성하는 것은, 상기 제3 혼합액에 환원제를 첨가하여 상기 나노 입자를 석출하는 것을 더 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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제12 항에 있어서,상기 패턴 형성용 잉크를 형성하는 것은, 상기 나노 입자가 석출된 상기 제3 혼합액을 원심분리하여 상기 나노 입자를 회수하고 세척하는 것을 더 포함하는 미세 패턴의 형성 방법
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