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절연체 부재 및 복수의 도전체 패턴들을 포함하는 제1전극으로서, 상기 제1전극 상에 배치된 처리대상물이 상기 복수의 도전체 패턴들 중의 적어도 하나와 직접 접촉하는, 상기 제1 전극;상기 처리대상물 상에 이격되어 배치되고, 상기 처리대상물과의 사이에서 대기압 플라즈마가 발생되는 제2전극; 및상기 제1전극과 상기 제2전극에 전기적으로 각각 연결되며, 상기 대기압 플라즈마를 발생시키는 전원부; 를 구비하며, 상기 제1전극은 원주방향으로 서로 이격되어 배치되는 상기 복수의 도전체 패턴들을 포함하는 원통형의 회전전극이고, 상기 대기압 플라즈마는 상기 복수의 도전체 패턴들 중에서 상기 처리대상물과 직접 접촉하는 도전체 패턴에 대응하여 상기 제2전극과 상기 처리대상물 사이에서만 발생되는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 제2전극과 상기 처리대상물 사이에 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부를 더 구비하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 처리대상물은 부도체를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 처리대상물은 유리, 섬유, 종이 및 폴리머로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 제1전극은 원통형의 상기 절연체 부재; 및 상기 절연체 부재 상에 서로 이격되어 배치되는 상기 복수의 도전체 패턴들;을 포함하는 원통형의 회전전극이고,상기 제2전극은 판상형의 도전체 전극부; 및 상기 제1전극과 대향하는 상기 도전체 전극부의 일면 상에 배치되는 유전체부;를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 제1전극은 원통형의 상기 절연체 부재; 및 상기 절연체 부재 상에 상면이 노출되며 나머지는 상기 절연체 부재 내에 매립되어 서로 이격되어 배치되는 상기 복수의 도전체 패턴들;을 포함하는 원통형의 회전전극이고,상기 제2전극은 판상형의 도전체 전극부; 및 상기 제1전극과 대향하는 상기 도전체 전극부의 일면 상에 배치되는 유전체부;를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 제1전극은 원통형의 상기 절연체 부재; 및 상기 절연체 부재 상에 서로 이격되어 배치되는 상기 복수의 도전체 패턴들;을 포함하는 원통형의 회전전극이고,상기 제2전극은 원통형의 도전체 전극부; 및 상기 도전체 전극부의 외주를 둘러싸도록 배치된 유전체부;를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 제1전극은 원통형의 상기 절연체 부재; 및 상기 절연체 부재 상에 상면이 노출되며 나머지는 상기 절연체 부재 내에 매립되어 서로 이격되어 배치되는 상기 복수의 도전체 패턴들;을 포함하는 원통형의 회전전극이고,상기 제2전극은 원통형의 도전체 전극부; 및 상기 도전체 전극부의 외주를 둘러싸도록 배치된 유전체부;를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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