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미리 알고 있는 크기 및 위치에 기공 역할을 하는 불순물이 배치되도록 한 솔더 볼(2)로 이루어지는 표준 결함 시편의 제작 방법에 있어서,미리 알고 있는 크기의 미립자(4)가 솔더(solder) 재료 내의 미리 알고 있는 위치에 삽입되는 미립자 삽입 단계;상기 미립자(4)가 삽입된 상기 솔더 재료가 리플로우(reflow)되어 상기 솔더 볼(2)이 최종 형성되는 최종 리플로우 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표준 결함 시편 제작 방법
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제 1항에 있어서, 상기 미립자 삽입 단계는a1) 패드(1) 상에 솔더 재료가 배치되는 단계;a2) 상기 솔더 재료가 1차 리플로우되어 범프(bump)됨으로써 상기 솔더 볼(2)이 형성되는 단계;a3) 상기 솔더 볼(2)에 미리 알고 있는 위치까지의 깊이를 가지는 홀(3)이 가공되는 단계;a4) 상기 홀(3)에 미리 알고 있는 크기의 미립자(4)가 삽입되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표준 결함 시편 제작 방법
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제 1항에 있어서, 상기 미립자 삽입 단계는b1) 패드(1) 상에 미리 알고 있는 위치까지 도금 또는 인쇄에 의하여 솔더 재료 층이 적층되는 단계;b2) 마스크에 의하여 마스크된 부분 이외의 부분에만 솔더 재료 층이 더 적층되는 단계;b3) 마스크에 의해 형성된 홀(3)에 상기 미립자(4)가 삽입되는 단계;b4) 상기 미립자(4)가 삽입된 솔더 재료 층에 솔더 재료 층이 더 적층되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표준 결함 시편 제작 방법
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제 1항에 있어서,상기 미립자(4)는 상기 솔더 재료의 용융점보다 높은 용융점을 가지는 재질로 이루어지며,상기 최종 리플로우 단계 시 상기 솔더 재료는 상기 솔더 재료의 용융점 및 상기 미립자(4)의 용융점 사이의 온도까지 가열되는 것을 특징으로 하는 표준 결함 시편 제작 방법
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제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 솔더 볼(2)은상기 패드(1) 하나당 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 표준 결함 시편 제작 방법
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제 5항에 있어서,상기 솔더 볼(2)이 하나의 상기 패드(1) 상에 다수 개 형성될 때, 각각의 상기 솔더 볼(2)에 형성되는 상기 홀(3)은 서로 다른 깊이로 형성되는 것을 특징으로 하는 표준 결함 시편 제작 방법
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제 5항에 있어서,상기 솔더 볼(2)이 하나의 상기 패드(1) 상에 다수 개 형성될 때, 각각의 상기 솔더 볼(2)에 삽입되는 상기 미립자(4)는 서로 다른 크기로 구비되는 것을 특징으로 하는 표준 결함 시편 제작 방법
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