| 1 |
1
베이스 판;상기 베이스 판 상에 형성되고, 제조하고자 하는 금속메쉬의 형상과 대응되는 형상의 메쉬층;상기 베이스 판 상에 형성되고, 상기 메쉬층 간의 사이 공간에 위치하는 크롬 도금층; 및상기 크롬 도금층 상에 형성되고, 상기 메쉬층 간의 사이 공간에 위치하는 절연층을 포함하며,상기 크롬 도금층은 상기 베이스 판의 표면으로부터 돌출되고,상기 금속메쉬는 상기 메쉬층에 형성되는 전주 마스터
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 크롬 도금층의 상측은 Nano 사이즈의 Tree 구조를 통해 상기 베이스 판의 상면으로 불규칙한 형상으로 돌출되고, 상기 크롬 도금층의 하측은 국부적으로 상기 베이스 판의 표면을 에칭하면서, 상기 베이스 판에도 표면 요철을 발생시키는 것을 특징으로 하는 전주 마스터
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 크롬 도금층은 3가 크롬 도금층인 것을 특징으로 하는 전주 마스터
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 절연층은 에폭시 수지, 테프론계 수지 또는 불소 수지인 것을 특징으로 하는 전주 마스터
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 베이스 판은 드럼형 또는 평판형인 것을 특징으로 하는 전주 마스터
|
| 6 |
6
베이스 판을 제공하는 단계;상기 베이스 판 상에 제조하고자 하는 금속메쉬의 형상과 대응되는 형상의 메쉬층을 형성하는 단계;상기 베이스 판 상에, 상기 메쉬층 간의 사이 공간에 위치하는 크롬 도금층을 형성하는 단계; 및상기 크롬 도금층 상에, 상기 메쉬층 간의 사이 공간에 위치하는 절연층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 크롬 도금층은 상기 베이스 판의 표면으로부터 돌출되는 것을 특징으로 하며,상기 금속메쉬는 상기 메쉬층에 형성되는 전주 마스터의 제조방법
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서,상기 크롬 도금층을 형성하는 단계는, 제조하고자 하는 금속메쉬의 형상과 대응되는 형상의 메쉬층을 포함하는 베이스 판 상에 전기 도금법에 의해 상기 크롬 도금층을 형성하는 것인 전주 마스터의 제조방법
|
| 8 |
8
제 6 항에 있어서,상기 절연층을 형성하는 단계는,상기 크롬 도금층을 포함하는 베이스 판 상에 스프레이법 또는 증착법에 의해 절연층 물질을 도포하고, 상기 도포된 절연층 물질을 화학적 기계적 연마(CMP:Chemical Mechanical Polishing) 공정으로 그 단면을 평탄화하여 형성하는 것인 전주 마스터의 제조방법
|
| 9 |
9
제 6 항에 있어서,상기 절연층은 에폭시 수지, 테프론계 수지 또는 불소 수지인 것을 특징으로 하는 전주 마스터의 제조방법
|
| 10 |
10
제 8 항에 있어서,상기 화학적 기계적 연마(CMP:Chemical Mechanical Polishing) 공정시, 상기 메쉬층의 상부에 형성된 상기 크롬 도금층을 제거하는 것을 특징으로 하는 전주 마스터의 제조방법
|
