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내부에 공간이 형성되는 하우징과,상기 하우징에 결합되는 커버와,구동력을 생성하는 압전소자와,상기 하우징 내부에 배치되고, 상기 압전 소자가 설치되며, 상기 압전소자의 구동력 생성에 따른 운동방향과 상이한 방향으로 일부의 형상이 가변하는 구동하우징과,상기 구동하우징에 적층되며, 상기 구동하우징을 통하여 전달되는 상기 압전소자의 구동력에 연동하여 변위가 가변하는 이동타겟부를 구비하고, 상기 구동하우징 형상이 가변하는 부분과 일부가 연결되도록 형성되는 모션가이드부를 포함하는 다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지
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청구항 1에 있어서,상기 하우징 및 상기 구동하우징과 연결되도록 설치되고, 상기 이동타겟부에 설치되어 상기 이동타겟부의 위치를 감지하는 변위측정부를 더 포함하는 다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지
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청구항 1에 있어서,상기 구동하우징은,상기 하우징과 결합하는 구동프레임과,상기 구동프레임의 내측에 형성되어 상기 압전소자가 설치되는 압전소자설치부와,상기 구동프레임 내측에 형성되어 상기 모션가이드부의 일부와 결합하여 상기 압전소자의 구동력을 상기 이동타겟부로 전달하는 구동력전달부와,상기 압전소자설치부와 상기 구동프레임 및 상기 압전소자설치부와 상기 구동력전달부 사이를 각각 연결하는 구동힌지부를 구비하는 다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지
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청구항 1에 있어서,상기 모션가이드부는,모션프레임과,상기 모션프레임에 연결되는 변위탄성체부와,상기 변위탄성체부 및 상기 구동하우징과 연결되는 모션연결부와,상기 모션연결부 및 상기 이동타겟부에 연결되어 상기 압전소자의 구동력을 상기 이동타겟부에 전달하는 선형탄성체를 구비하는 다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지
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청구항 5에 있어서,상기 변위탄성체부는,상기 모션연결부 및 상기 모션프레임 사이에 배치되는 연결부와,상기 연결부와 상기 모션프레임을 연결하고, 상기 연결부와 상기 모션연결부를 각각 연결하는 변위탄성체를 구비하는 다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지
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청구항 6에 있어서,상기 변위탄성체 및 상기 선형탄성체 중 적어도 하나는 판스프링 형태인 다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지
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청구항 1에 있어서,상기 구동하우징에 이동가능하도록 삽입되어 상기 압전소자와 접촉하는 예압조절부를 더 포함하는 다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지
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