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전자빔 피니싱 가공 또는 전자 현미경을 위한 일체형 전자 렌즈 구조물을 갖는 전자빔 주사장치

  • 기술번호 : KST2015129256
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 집속 렌즈 및 대물 렌즈 간의 구성이 일체화된 컬럼 구조로 제공되는 피니싱 가공과 전자 현미경에 이용할 수 있는 일체형 전자 렌즈에 관하여 개시한다. 본 발명인 피니싱 가공 및 전자 현미경을 위한 전자 렌즈는, 컬럼부와, 컬럼부의 중심을 따라 길이 방향으로 진공상태의 제1중공을 형성하며, 전자빔이 주사되는 경로를 제공하는 전자빔 주사 경로부와, 전자빔 주사 경로부에 직교한 방향으로 확장된 진공상태의 제2중공을 형성하며, 전기적으로 자기장을 발생시켜 전자빔을 집속시키는 전자빔 집속 렌즈부와, 컬럼부를 통해 전자빔 집속 렌즈부와 일체로 연결되며, 집속된 전자빔의 초점을 맞추는 전자빔 대물 렌즈부를 포함한다.
Int. CL H01J 37/14 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01)
출원번호/일자 1020110118297 (2011.11.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1195486-0000 (2012.10.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20121030) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.14)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임선종 대한민국 대전광역시 서구
2 최지연 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0896680-14
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0053711-82
3 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination
2012.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0133435-39
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0338155-57
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.05.29 수리 (Accepted) 9-1-2012-0042675-21
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.06.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0336376-30
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.08.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0636567-66
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0636566-10
10 등록결정서
Decision to grant
2012.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0612758-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
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전자빔 소스와 연결되는 외장 케이스;상기 외장 케이스에 내장되는 전자 렌즈 구조물; 및상기 외장 케이스의 내측과 전자 렌즈 구조물의 외주면 사이에 설치되며, 상기 전자 렌즈 구조물의 길이 방향을 따라 설치되어 자기장을 발생시키는 한 쌍의 집속 렌즈 코일 부재를 포함하고,상기 전자 렌즈 구조물은,내부 공간을 진공으로 유지하도록 일체 제작된 실린더 형상의 몸체를 갖는 컬럼부;상기 전자빔 소스로부터 주사된 전자빔이 경유하는 공간을 제공하도록 상기 컬럼부의 내부에 상기 컬럼부의 길이 방향을 따라 형성되는 제1중공;상기 집속 렌즈 코일 부재에 대응되는 위치에 상기 제1중공에 대해 직교한 방향으로 확장된 직경을 갖도록 상기 제1중공과 연통되게 형성되며, 상기 집속 렌즈 코일 부재에 의해 발생한 자기장에 의해 상기 제1중공을 통과하는 전자빔을 집속하는 한 쌍의 제2중공; 및 상기 컬럼부의 후단부에 상기 컬럼부와 일체로 형성되며, 집속된 전자빔의 초점을 맞추는 전자빔 대물 렌즈부;를 포함하고,상기 전자빔 대물 렌즈부의 외측에는 집속된 전자빔의 초점을 맞추도록 전기적인 자기장을 발생시키는 대물 렌즈 코일 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 전자빔 주사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1중공은,상기 컬럼부의 중심을 따라 입측과 출측이 연통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 주사 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국생산기술연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 정밀기계부품 가공용 고밀도 전자빔의 고속 청정 Finishing 공정 기술개발 (1/5)