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임프린트 리소그래피용 스탬프 및 제작방법

  • 기술번호 : KST2015129297
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 임프린트 리소그래피용 스탬프 및 제작방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 유연하고 얇은 스탬프를 제작하는데 있어, 마스터 템플리트 상측 얇게 도포된 형태로 경화된 스탬프용 레지스트에 서로 다른 직경의 몰드를 설치하고, 그 사이공간에 인서트를 장착한 다음 추가로 스탬프용 레지스트를 공급하여 경화시킴에 따라, 경화된 스탬프용 레지스트의 가장자리에 인서트가 내부에 장착된 플랜지가 형성됨으로써, 상기 플랜지를 통해 마스터 템플리트로부터 경화된 스탬프용 레지스트를 분리하는 것이 용이한 임프린트 리소그래피용 스탬프 및 제작방법에 관한 것이다.
Int. CL B29C 33/42 (2006.01) B29C 33/38 (2006.01) B29C 59/02 (2006.01)
CPC B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01)
출원번호/일자 1020110058574 (2011.06.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1334120-0000 (2013.11.19)
공개번호/일자 10-2012-0139045 (2012.12.27) 문서열기
공고번호/일자 (20131127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.16)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시 서구
3 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
4 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0456731-46
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0149648-57
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.05.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0390410-49
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0390421-41
5 등록결정서
Decision to grant		 2013.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0629473-90
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
임프린트 리소그래피용 스탬프를 제작하는 방법에 있어서,a) 일정 패턴이 적어도 한쪽 면에 인각되어 형성된 마스터 템플리트(200)를 준비하는 마스터 템플리트 준비 단계(S10);b) 상기 마스터 템플리트(200)의 패턴이 형성된 측면에 스탬프용 레지스트(300)를 도포하는 레지스트 도포 단계(S20);c) 상기 마스터 템플리트(200)가 일정 속도 및 일정 시간동안 회전되어 상기 스탬프용 레지스트(300)가 골고루 도포되는 스핀 코팅 단계(S30):d) 도포된 상기 스탬프용 레지스트(300)가 경화되면, 상기 마스터 템플리트(200)의 가장자리를 따라 설치되는 제1몰드(410)와, 상기 제1몰드(410) 내측 방향으로 일정거리 이격되어 상기 스탬프용 레지스트(300) 위에 설치되는 제2몰드(420)를 배치하는 몰드 배치 단계(S40);e) 상기 제1몰드(410)와 제2몰드(420) 사이에 인서트(510)가 배치되는 인서트(510) 배치 단계(S50);f) 상기 제1몰드(410)와 제2몰드(420) 사이에 상기 스탬프용 레지스트(300)가 추가적으로 도포되는 레지스트 추가 도포 단계(S60);g) 상기 스탬프용 레지스트(300)가 경화된 후, 제1몰드(410) 및 제2몰드(420)를 분리하는 몰드 분리 단계(S70); 및h) 상기 제1몰드(410) 및 제2몰드(420) 사이에 도포된 상기 스탬프용 레지스트(300)와 인서트(510)가 함께 경화되어 형성된 플랜지(500)를 잡고 들어 올려 상기 마스터 템플리트(200)로부터 스탬프용 레지스트(300)를 분리하는 스탬프 분리 단계(S80); 를 포함하며, a)~h) 단계가 순차적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 스탬프 제작방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 제1몰드(410), 제2몰드(420) 및 상기 인서트(510)는상기 마스터 템플리트(200)가 원판일 경우,원으로 된 띠 형태로 제작되되, 서로 직경이 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 스태프 제작방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 인서트(510)는PDMS보다 경도가 강한 재질로 제작된 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 스탬프 제작방법
4 4
제 2항에 있어서,상기 인서트(510)는상기 제1몰드(410) 및 제2몰드(420) 사이에 배치되되,상기 제1몰드(410)보다 직경이 작고 상기 제2몰드(420)보다 직경이 큰 띠 형태인 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 스탬프 제작방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 인서트(510)의 상측면에는상측으로 돌출되는 돌기부(511)가 형성되며,상기 돌기부(511)가 원주방향으로 일정거리 이격되어 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 스탬프 제작방법
6 6
제 4항 또는 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 플랜지(500)는상기 인서트(510)가 레지스트 추가 도포 단계(S60)에서 도포된 스탬프용 레지스트(300) 내부에 매립되어 형성되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 스탬프 제작방법
7 7
제 4항 또는 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 플랜지(500)는상기 인서트(510)가 레지스트 추가 도포 단계(S60)에서 도포된 스탬프용 레지스트(300) 위로 일정 영역 돌출되어 형성되는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피용 스탬프 제작방법
8 8
제 1항에 의한 임프린트 리소그래피용 스탬프 제작방법을 이용하여 제작된 임프린트 리소그래피용 스탬프
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 교육과학기술부 한국기계연구원 교과부-국가연구개발사업(I) UV기반 나노 임프린팅 장비기술 개발 (7/7)