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고규소 전기 강판의 제조방법 및 전기 강판의 제조시스템

  • 기술번호 : KST2015129342
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 관점에 따른 전기 강판의 제조방법이 제공된다. 제 1 강판을 제공한다. 플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 상기 제 1 강판의 적어도 일면 상에 적어도 하나의 규소층을 형성한다. 상기 적어도 하나의 규소층 내 규소가 상기 제 1 강판 내로 확산되도록 상기 제 1 강판을 열처리하여, 규소를 함유하는 제 2 강판을 형성한다.
Int. CL C23C 10/06 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01)
CPC C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01)
출원번호/일자 1020120027704 (2012.03.19)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1404136-0000 (2014.05.29)
공개번호/일자 10-2013-0106081 (2013.09.27) 문서열기
공고번호/일자 (20140610) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.19)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남기석 대한민국 경남 창원시 의창구
2 권정대 대한민국 경남 창원시 성산구
3 김동호 대한민국 경남 창원시 마산회원구
4 류승윤 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 박성규 대한민국 경상남도 창원시 성산구
6 윤정흠 대한민국 경남 김해시 월산로 ***-**,
7 정용수 대한민국 경남 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0219639-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.02.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.04.03 수리 (Accepted) 9-1-2013-0022856-65
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0482943-99
5 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2013.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0698654-17
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0830676-75
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0830677-10
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0742074-59
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-1194934-32
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.12.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1194936-23
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0074636-18
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2014.03.05 수리 (Accepted) 7-1-2014-0008615-16
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-0312459-03
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2014.04.01 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0312460-49
15 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2014.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0296271-97
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 강판을 제공하는 단계;플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 상기 제 1 강판의 적어도 일면 상에 적어도 하나의 규소층을 형성하는 단계; 및상기 적어도 하나의 규소층 내 규소가 상기 제 1 강판 내로 확산되도록 상기 제 1 강판을 열처리하여, 규소를 함유하는 제 2 강판을 형성하는 단계를 포함하고,상기 적어도 하나의 규소층을 형성하는 단계는,상기 제 1 강판의 양면 상에 적어도 한 쌍의 회전 전극들을 배치시키는 단계;상기 제 1 강판의 양면과 상기 적어도 한 쌍의 회전 전극들 사이에 국부적으로 플라즈마를 발생시켜 반응 기체의 화학적 반응을 국부적으로 유도하는 단계; 및상기 제 1 강판의 양면 상에 적어도 한 쌍의 규소층들이 연속적으로 생기도록, 상기 적어도 하나의 회전 전극을 회전시키면서 상기 제 1 강판을 상기 회전 전극에 대해서 상대적으로 이동시키는 단계를 포함하고,상기 적어도 하나의 규소층을 형성하는 단계는, 상기 제 1 강판 및 상기 제 2 강판을 한 쌍의 롤들 사이에서 롤투롤 방식으로 연속적으로 이동시켜 수행하고,상기 제 1 강판은 상기 적어도 한 쌍의 규소층들이 형성된 후 대기 중에 노출되지 않고 연속적으로 열처리되어 상기 제 2 강판이 제조되는, 전기 강판의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 강판은 0 초과 4 중량% 이하의 제 1 규소 함량을 갖고, 상기 제 2 강판은 5
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 제 2 규소 함량은 6
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 규소층을 형성하는 단계는 상기 제 1 강판의 양면 상에 다층 구조의 규소층들을 형성하는 단계를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 규소층을 형성하는 단계는 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 수행하는, 전기 강판의 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 상압 플라즈마 화학기상증착법은 규소 소스의 반응 기체로 실란(SiH4)을 포함하는, 전기 강판의 제조방법
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 제 1 강판의 열처리는 900 내지 1200℃ 범위의 온도에서 수소를 포함하는 보호 기체 분위기 하에서 수행하는, 전기 강판의 제조방법
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
제 1 항에 있어서, 상기 적어도 한 쌍의 회전 전극들은 상기 제 1 강판의 양면 상에 서로 이격 배치된 복수의 쌍들의 회전 전극들을 포함하고,상기 제 1 강판을 상기 복수의 쌍들의 회전 전극들에 대해서 상대적으로 이동시키는 단계는, 상기 제 1 강판의 양면 상에 다층 구조의 규소층들이 형성되도록 수행하는, 전기 강판의 제조방법
14 14
삭제
15 15
제 1 강판을 내부로 장입하여, 상기 제 1 강판의 적어도 일면 상에 적어도 하나의 규소층을 형성하기 위한 적어도 하나의 플라즈마 화학기상증착장치; 및상기 플라즈마 화학기상증착장치 뒤에 상기 플라즈마 화학기상증착장치와 일렬로 배치되어, 상기 제 1 강판이 상기 플라즈마 화학기상증착장치를 거쳐 장입되면 상기 적어도 하나의 규소층 내 규소가 상기 제 1 강판 내로 확산되어 규소를 함유하는 제 2 강판이 형성되도록 상기 제 1 강판을 열처리하기 위한 열처리장치를 포함하고,상기 적어도 하나의 플라즈마 화학기상증착장치는 상기 제 1 강판의 양면 상에 서로 이격 배치된 적어도 한 쌍의 회전 전극들을 포함하고,상기 적어도 하나의 규소층을 형성하는 단계는, 상기 제 1 강판 및 상기 제 2 강판을 한 쌍의 롤들 사이에서 롤투롤 방식으로 연속적으로 이동시켜 수행하고,상기 제 1 강판은 상기 적어도 한 쌍의 규소층들이 형성된 후 대기 중에 노출되지 않고 연속적으로 열처리되어 상기 제 2 강판이 제조되는, 전기 강판의 제조시스템
16 16
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.