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롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치

  • 기술번호 : KST2015129346
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부와 밀폐되도록 형성되는 챔버, 상기 챔버의 일측에 형성되어 그래핀 형성에 필요한 각종 가스를 공급하는 가스공급부 및 가스배출부, 상기 챔버의 내부를 통과하도록 금속부재의 양단이 연결되는 공급롤과 회수롤 및 상기 금속부재를 가열하기 위한 상기 챔버 내부에 형성되는 가열수단을 포함하여 이루어지며, 상기 공급롤 및 회수롤은 가열되는 금속부재를 냉각시킬 수 있는 냉각수단이 형성되어, 롤투롤 방식으로 금속부재를 이송하며 밀폐된 챔버 내부를 통과시키면서 금속부재를 가열 및 가스를 공급하고 냉각시킴으로써 금속부재에 그래핀을 연속적으로 합성할 수 있는 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치에 관한 것이다.
Int. CL B01J 19/18 (2006.01) C01B 31/02 (2006.01) B41M 5/03 (2006.01) B41M 5/10 (2006.01)
CPC C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01)
출원번호/일자 1020120022102 (2012.03.05)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1168259-0000 (2012.07.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120730) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.05)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상민 대한민국 대구 수성구
2 이학주 대한민국 대전 서구
3 김재현 대한민국 대전 유성구
4 김경식 대한민국 대전 유성구
5 이승모 대한민국 대전 유성구
6 장봉균 대한민국 대전 유성구
7 황보윤 대한민국 대전 유성구
8 김광섭 대한민국 대전 유성구
9 최현주 대한민국 대전 유성구
10 오충석 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0175561-57
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0178433-36
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.04.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.04.30 수리 (Accepted) 9-1-2012-0034637-64
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0278417-75
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0436981-19
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0437008-09
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0390141-74
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외부와 밀폐되게 형성되는 챔버(100);상기 챔버(100)의 내부에 구비되며 기판(700)의 양단이 연결되어 권취되는 공급롤(200) 및 회수롤(300);상기 챔버(100)의 내부에 구비되며 상기 기판(700)을 가열하는 가열부(400);상기 챔버(100)의 일측에 형성되어 챔버(100) 내부로 탄소를 포함한 가스를 공급하는 가스 공급부(500); 및상기 챔버(100)의 일측에 형성되어 챔버(100) 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(600); 를 포함하여 이루어지며,상기 공급롤(200) 및 회수롤(300)은 상기 기판(700)을 냉각할 수 있도록 각각 냉각수단이 형성되고, 상기 가열부(400)는 상기 기판(700)에 일측이 접하도록 형성되는 히팅 롤러(410)인 것을 특징으로 하는 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
외부와 밀폐되게 형성되는 챔버(100);상기 챔버(100)의 외부 양측에 구비되며 기판(700)의 양단이 연결되어 권취되는 공급롤(200) 및 회수롤(300);상기 챔버(100)의 내부에 구비되며 상기 기판(700)을 가열하는 가열부(400);상기 챔버(100)의 일측에 형성되어 챔버(100) 내부로 탄소를 포함한 가스를 공급하는 가스 공급부(500); 및상기 챔버(100)의 일측에 형성되어 챔버(100) 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(600); 를 포함하여 이루어지며,상기 공급롤(200) 및 회수롤(300)은 상기 기판(700)을 냉각할 수 있도록 각각 냉각수단이 형성되고, 상기 가열부(400)는 상기 기판(700)에 일측이 접하도록 형성되는 히팅 롤러(410)이며,상기 챔버(100)는 양측에 상기 기판(700)이 투입 및 배출될 수 있도록 투입부(110) 및 배출부(120)가 형성되며, 상기 투입부(110) 및 배출부(120)는 상기 챔버(100) 내부의 가스를 밀폐하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 투입부(110) 및 배출부(120)는 상기 기판(700)은 통과되나 상기 챔버(100) 내부의 가스는 밀폐되도록 하는 롤러 씰(130)인 것을 특징으로 하는 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치
6 6
외부와 밀폐되게 형성되는 챔버(100);상기 챔버(100)의 내부에 구비되고, 기판(700)의 양단이 연결되어 권취되며 일정거리 이격되어 대칭으로 형성되는 각각 한 쌍의 공급롤(200) 및 회수롤(300);상기 챔버(100)의 내부에 구비되며 상기 기판(700)을 가열하는 가열부(400);상기 챔버(100)의 일측에 형성되어 챔버(100) 내부로 탄소를 포함한 가스를 공급하는 가스 공급부(500); 및상기 챔버(100)의 일측에 형성되어 챔버(100) 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부(600); 를 포함하여 이루어지되,상기 공급롤(200) 및 회수롤(300)은 상기 기판(700)을 냉각할 수 있도록 각각 냉각수단이 형성되고, 상기 가열부(400)는 상기 기판(700)의 양측으로 일정거리 이격되게 형성되는 한 쌍의 히팅 플레이트(420)로 형성되며, 상기 가스 공급부(500) 및 가스 배출부(600)는 상기 기판(700)이 상기 한 쌍의 히팅 플레이트(420) 사이를 통과하는 방향으로 가스가 공급 및 배출 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치
7 7
제6항에 있어서,상기 히팅 플레이트(420)는 수직 방향으로 형성되고, 상기 가스 공급부(500)는 상기 챔버(100)의 상측에 형성되고 상기 가스 배출부(600)는 상기 챔버(100)의 하측에 형성되며, 상기 히팅 플레이트(420)의 상부 양측의 공급롤(200)에서 기판(700)이 공급되고 상기 히팅 플레이트(420) 하부 양측의 회수롤(300)에서 기판이 회수되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 기반의 그래핀 연속 합성 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 유연 나노박막용 대면적 전사 및 연속 생산시스템 기술 개발(2단계 1/3)
2 교육과학기술부 한국기계연구원 교과부-국가연구개발사업(I) 10nm급 측정 원천기술개발 (4/4)