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서로 이격되어 배치된 복수의 도전체 패턴들을 포함하는 제1전극으로서, 상기 제1전극 상에 배치된 대상물이 상기 복수의 도전체 패턴들 중의 적어도 일부와 직접 접촉하는, 상기 제1 전극; 및상기 대상물과 이격되며 상기 제1전극과 대향하는 위치에 서로 이격되어 배치되고, 상기 대상물과의 사이에서 대기압 플라즈마가 각각 발생될 수 있는 복수의 제2전극들;을 구비하고, 상기 제1전극은 원통형의 몸체부 및 상기 몸체부 상에 이격되어 배치되는 상기 복수의 도전체 패턴들을 포함하고,상기 대상물은 상기 복수의 도전체 패턴들 중의 적어도 일부와 직접 접촉하면서 상기 제1전극의 적어도 일부를 감아 둘러싸며 배치되고,상기 대기압 플라즈마는 상기 복수의 도전체 패턴들 중에서 상기 대상물과 직접 접촉하는 도전체 패턴에 대응하여 상기 제2전극과 상기 대상물 사이에서만 발생되는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 제1전극은 상기 복수의 도전체 패턴들 사이에 개재되는 절연체 부재를 더 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 제1전극과 상기 복수의 제2전극들의 각각에 전기적으로 연결되는 전원부; 및상기 복수의 제2전극들의 각각과 상기 전원부 사이의 전기적 연결의 개폐를 제어하며, 상기 대상물 및 상기 제1전극의 이동 방향과 속도를 제어하는 제어부;를 더 구비하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 제2전극은 상기 대상물 상에 증착되는 물질막의 고체소스를 제공하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제4항에 있어서,상기 제2전극은 실리콘(Si), 알루미늄(Al) 및 티타늄(Ti)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제4항에 있어서,상기 제2전극과 상기 대상물 사이에 반응가스가 공급되며, 상기 대기압 플라즈마는 상기 고체소스와 반응가스의 결합체를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제6항에 있어서,상기 반응가스는 대기압의 수소가스를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 대상물은 부도체를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 대상물은 유리, 섬유, 종이 및 폴리머로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 대기압 플라즈마는 상기 대상물과 직접 접촉하는 상기 복수의 도전체 패턴들의 위치에 대응하여 상기 제2전극과 상기 대상물 사이에서 발생되는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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제1항에 있어서,상기 복수의 제2전극들의 각각은 대향하는 상기 대상물과 일정한 이격거리를 가지도록 상기 제1전극의 곡률과 동일한 곡률을 가지는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치
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서로 이격되어 배치된 복수의 도전체 패턴들을 포함하는 제1전극과 상기 제1전극과 대향하는 위치에 서로 이격되어 배치되는 복수의 제2전극들을 구비하는 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치를 준비하는 단계;상기 복수의 도전체 패턴들 중의 적어도 일부와 직접 접촉하도록 대상물을 상기 제1전극 상에 배치하는 단계; 및상기 제1전극과 상기 복수의 제2전극들 중에 선택된 적어도 하나 이상의 제2전극에 전원을 인가하여 상기 선택된 적어도 하나 이상의 제2전극과 상기 대상물 사이에 대기압 플라즈마를 발생시키는 단계;를 포함하고,상기 제1전극은 원통형의 몸체부 및 상기 몸체부 상에 이격되어 배치되는 상기 복수의 도전체 패턴들을 포함하고,상기 대상물은 상기 복수의 도전체 패턴들 중의 적어도 일부와 직접 접촉하면서 상기 제1전극의 적어도 일부를 감아 둘러싸며 배치되고,상기 대기압 플라즈마는 상기 복수의 도전체 패턴들 중에서 상기 대상물과 직접 접촉하는 도전체 패턴에 대응하여 상기 제2전극과 상기 대상물 사이에서만 발생되는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치를 이용한 대상물의 가공방법
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제13항에 있어서,상기 대기압 플라즈마를 발생시키는 단계는,상기 제2전극과 상기 대상물 사이에 반응가스를 공급하는 단계; 및상기 제2전극으로부터 제공되는 고체소스와 상기 반응가스의 결합체를 포함하는 플라즈마를 발생시키는 단계;를 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치를 이용한 대상물의 가공방법
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제14항에 있어서,상기 대상물을 상기 제1전극 상에 이동시키는 단계; 및상기 대상물 상에 상기 고체소스를 포함하는 물질막을 증착하는 단계;를 더 포함하는, 플라즈마를 국부적으로 발생시키는 장치를 이용한 대상물의 가공방법
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