| 1 |
1
외부장치에 고정되는 하우징과,상기 하우징으로부터 소정간격 이격되어 상기 하우징의 내부에 배치되는 이동플레이트와,상기 하우징과 상기 이동플레이트의 사이에 배치되는 가이드 바 및 상기 하우징, 상기 이동플레이트 및 상기 가이드 바를 연결하는 복수개의 제 1 탄성힌지 및 제 2 탄성힌지로 구성되는 선형가이드부와,상기 선형가이드부와 수직방향의 이동플레이트의 양측 중간부에 형성되어 가해진 전압차에 의해 차분력을 생성하며, 상기 차분력에 의해 제 1 방향으로 상기 이동플레이트에 힘을 가하는 복수개의 압전액추에이터, 및상기 이동플레이트와 상기 압전액추에이터 사이에 배치되고, 상기 압전액추에이터로부터 발생되는 힘을 상기 이동플레이트에 분산시켜 전달하는 버퍼모듈을 포함하는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 1축 스테이지
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 버퍼모듈은,일측이 상기 이동플레이트의 일측면과 평행하게 소정간격 이격되어 배치되고, 타측은 상기 압전액추에이터와 연결되는 푸싱 바와,상기 압전액추에이터와 평행하게 상기 푸싱 바의 양측에 연결되는 복수개의 제 3 탄성힌지와,상기 제 3 탄성힌지의 외측으로 평행하게 배치되며, 일단의 측면이 상기 제 3 탄성힌지와 연결되고, 타단이 상기 이동플레이트에 연결되는 제 4 탄성힌지를 포함하는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 1축 스테이지
|
| 3 |
3
청구항 2에 있어서,상기 버퍼모듈은, 상기 이동플레이트와 면접촉에 의해 힘을 전달하고, 상기 제 3 탄성힌지, 상기 제 4 탄성힌지 및 상기 푸싱 바의 연결지점이 힌지점으로 작용되는 차분력에 의한 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 1축 스테이지
|
| 4 |
4
외부장치에 고정되는 하우징과,상기 하우징으로부터 소정간격 이격되어 상기 하우징의 내부에 배치되는 이동플레이트와,상기 하우징과 상기 이동플레이트에 연결되는 복수개의 탄성힌지부와,상기 하우징과 상기 이동플레이트의 각 측면 중간부 사이에 각각 배치되고, 가해진 전압차에 의해 차분력을 생성하며, 상기 차분력에 의하여 제 1 방향 및 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 상기 이동플레이트의 변위를 가변시키는 복수개의 압전액추에이터 및,상기 이동플레이트와 상기 압전액추에이터의 사이에 배치되고, 상기 압전액추에이터로부터 발생되는 힘을 상기 이동플레이트에 분산시켜 전달하는 버퍼모듈을 포함하는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 2축 스테이지
|
| 5 |
5
청구항 4에 있어서, 상기 탄성힌지부는,일단이 상기 이동플레이트와 수직으로 연결되는 제 1 탄성힌지와,일단이 상기 이동플레이트와 평행하게 상기 하우징에 연결되고, 타단이 상기 제 1 탄성힌지의 타단부와 수직으로 연결되는 제 2 탄성힌지를 포함하고,상기 제 1 탄성힌지 및 상기 제 2 탄성힌지는 중앙에서 양단으로 갈수록 단면적이 작아지는 구조로, 양단의 연결지점이 힌지점으로 작용되는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 2축 스테이지
|
| 6 |
6
청구항 4에 있어서,상기 버퍼모듈은,일측이 상기 이동플레이트의 일측면과 평행하게 소정간격 이격되어 배치되고, 타측은 상기 압전액추에이터와 연결되는 푸싱 바와,상기 압전액추에이터와 평행하게 상기 푸싱 바의 양측에 연결되는 복수개의 제 3 탄성힌지와,상기 제 3 탄성힌지의 외측으로 평행하게 배치되며, 일단의 측면이 상기 제 3 탄성힌지와 연결되고, 타단이 상기 이동플레이트에 연결되는 복수개의 제 4 탄성힌지를 포함하는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 2축 스테이지
|
| 7 |
7
청구항 6에 있어서,상기 버퍼모듈은, 상기 이동플레이트와 면접촉에 의해 힘을 전달하고, 상기 제 3 탄성힌지, 상기 제 4 탄성힌지 및 상기 푸싱 바의 연결지점이 힌지점으로 작용되는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 2축 스테이지
|
| 8 |
8
외부장치에 고정되는 하우징과,상기 하우징으로부터 소정간격 이격되어 상기 하우징의 내부에 배치되는 이동플레이트와,상기 하우징과 상기 이동플레이트에 연결되는 복수개의 탄성힌지부와,상기 하우징과 상기 이동플레이트 사이에 배치되고, 가해진 전압차에 의해 차분력을 생성하며, 상기 차분력에 의하여 상기 이동플레이트의 제 1 방향 변위와, 상기 제 1 방향과 직각을 이루는 제 2 방향 변위 및 회전 변위를 발생시키는 복수개의 압전액추에이터와,상기 이동플레이트와 상기 압전액추에이터의 사이에 배치되고, 상기 압전액추에이터로부터 발생되는 힘을 상기 이동플레이트에 분산시켜 전달하는 버퍼모듈을 포함하는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 3축 스테이지
|
| 9 |
9
청구항 8에 있어서, 상기 탄성힌지부는,일단이 상기 이동플레이트와 수직으로 연결되는 제 1 탄성힌지와,일단이 상기 이동플레이트와 평행하게 상기 하우징에 연결되고, 타단이 상기 제 1 탄성힌지의 타단부와 수직으로 연결되는 제 2 탄성힌지를 포함하고,상기 제 1 탄성힌지 및 상기 제 2 탄성힌지는 중앙에서 양단으로 갈수록 단면적이 작아지는 구조로, 연결지점이 힌지점으로 작용되는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 3축 스테이지
|
| 10 |
10
청구항 8에 있어서,상기 압전액추에이터는,상기 제 1 방향으로 상기 이동플레이트를 가력하는 복수개의 제 1 방향 압전액추에이터와,상기 제 2 방향으로 상기 이동플레이트를 가력하는 복수개의 제 2 방향 압전액추에이터로 구분되되, 상기 제 1 방향 압전액추에이터는, 상기 이동플레이트의 제 1 방향 어느 한측의 중앙부에 배치되고, 반대편 측에는 중앙부에서 소정간격 이격된 양측부에 배치되며,상기 제 2 방향 압전액추에이터는, 상기 이동플레이트의 제 2 방향 어느 한측의 중앙부에 배치하고, 반대편 측에는 중앙에서 소정간격 이격된 양측부에 배치되는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 3축 스테이지
|
| 11 |
11
청구항 8에 있어서,상기 버퍼모듈은,일측이 상기 이동플레이트의 일측면과 평행하게 소정간격 이격되어 배치되고, 타측은 상기 압전액추에이터와 연결되는 푸싱 바와,상기 압전액추에이터와 평행하게 상기 푸싱 바의 양측에 연결되는 복수개의 제 3 탄성힌지와,상기 제 3 탄성힌지의 외측으로 평행하게 배치되며, 일단의 측면이 상기 제 3 탄성힌지와 연결되고, 타단이 상기 이동플레이트에 연결되는 복수개의 제 4 탄성힌지를 포함하는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 3축 스테이지
|
| 12 |
12
청구항 11에 있어서,상기 버퍼모듈은, 상기 이동플레이트와 면접촉에 의해 힘을 전달하고, 상기 제 3 탄성힌지, 상기 제 4 탄성힌지 및 상기 푸싱 바의 연결지점이 힌지점으로 작용되는 버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 3축 스테이지
|
