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알카리 금속 수산화물에 가용성인 소재로 이루어진 희생 기판을 준비하는 단계;상기 희생 기판 상부에 금속 배선을 형성시키는 단계;상기 금속 배선을 포함하여 상기 희생 기판 상부에 경화성 고분자를 코팅하여 경화시키는 단계; 및상기 희생 기판을 상기 알카리 금속 수산화물에 반응시켜 녹여내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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알카리 금속 수산화물에 가용성인 소재로 이루어진 희생 기판을 준비하는 단계;상기 희생 기판 상부에 투명 전극을 형성시키는 단계;상기 투명 전극 상부에 금속 배선을 형성시키는 단계;상기 금속 배선을 포함하여 상기 투명 전극 상부에 경화성 고분자를 코팅하여 경화시키는 단계; 및상기 희생 기판을 상기 알카리 금속 수산화물에 반응시켜 녹여내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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알카리 금속 수산화물에 가용성인 소재로 이루어진 희생 기판을 준비하는 단계;상기 희생 기판 상부에 금속 배선을 형성시키는 단계;상기 금속 배선 상부에 열 가소성 폴리머 기판을 접촉시키는 단계;상기 폴리머 기판의 적어도 상기 금속 배선이 접촉된 영역을 연화시키는 단계;상기 폴리머 기판 및(또는) 상기 희생 기판에 압력을 가하여, 상기 연화된 폴리머 기판에 상기 금속 배선을 함입시키는 단계; 및상기 희생 기판을 상기 알카리 금속 수산화물에 반응시켜 녹여내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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알카리 금속 수산화물에 가용성인 소재로 이루어진 희생 기판을 준비하는 단계;상기 희생 기판 상부에 투명 전극을 형성시키는 단계;상기 투명 전극 상부에 금속 배선을 형성시키는 단계;상기 금속 배선 상부에 열 가소성 폴리머 기판을 접촉시키는 단계;상기 폴리머 기판의 적어도 상기 금속 배선이 접촉된 영역을 연화시키는 단계;상기 폴리머 기판 및(또는) 상기 희생 기판에 압력을 가하여, 상기 연화된 폴리머 기판에 상기 금속 배선을 함입시키는 단계; 및상기 희생 기판을 상기 알카리 금속 수산화물에 반응시켜 녹여내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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제1 항 내지 제4 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 알카리 금속 수산화물은 수산화나트륨(NaOH) 또는 수산화칼륨(KOH)인 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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제5 항에 있어서,상기 희생 기판은 알루미늄 포일(Al Foil) 형태 또는 실리콘 웨이퍼(Si Wafer) 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 경화성 고분자는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 설폰(PES), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN),폴리카보네이트(PC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리이미드(PI), 에틸렌비닐아세테이트(EVA), 아몰포스폴리에틸렌테레프탈레이트(APET), 폴리프로필렌테레프탈레이트(PPT), 폴리에틸렌테레프탈레이트글리세롤(PETG),폴리사이클로헥실렌디메틸렌테레프탈레이트(PCTG), 변성트리아세틸셀룰로스(TAC),사이클로올레핀고분자(COP), 사이클로올레핀코고분자(COC), 디시클로펜타디엔고분자(DCPD), 시클로펜타디엔고분자(CPD), 폴리아릴레이트(PAR),폴리에테르이미드(PEI), 폴리다이메틸실론세인(PDMS), 실리콘수지, 불소수지 및 변성에폭시수지로 이루어지는 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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제3 항 또는 제4 항에 있어서,상기 폴리머 기판의 적어도 상기 금속 배선이 접촉된 영역을 연화시키는 단계는, 상기 금속 배선을 가열하여 상기 금속 배선이 접촉된 영역을 국부적으로 연화시키는 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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제8 항에 있어서,상기 금속 배선은 마이크로 웨이브(Microwave) 조사, 레이저 조사, 또는 전기적 통전에 의해 가열시키는 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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제3 항 또는 제4 항에 있어서,상기 폴리머 기판 및(또는) 상기 희생 기판에 가해지는 압력은 롤링 또는 프레싱에 의한 하중인 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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제3 항 또는 제4 항에 있어서,상기 열 가소성 폴리머 기판은 폴리에틸렌, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리프로필렌, 폴리염화비닐, 폴리스티렌, 폴리아세탈 및 아크릴 수지를 포함한 열 가소성 고분자 군에서 선택된 적어도 어느 하나로 형성되거나, 또는 상기 열 가소성 고분자로 형성된 층이 또 다른 고분자 층에 접합된 복층의 폴리머 기판 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 희생 기판을 이용한 금속 배선이 함입된 유연 기판 제조 방법
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제1 항 내지 제4 항 중 어느 하나의 항에 따른 제조 방법으로 제조되어 금속 배선이 폴리머 기판 내부에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 금속 배선이 함입된 유연 기판
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