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광원, 상기 광원으로부터 발생하는 광경로 상에 위치하며 패턴이 형성되는 박막 시편, 상기 박막 시편의 상부 또는 하부에 위치하는 검사부를 이용하며,상기 광경로를 따라서 상기 박막 시편의 후단에 설치되며, 상기 박막 시편 패턴으로부터 출사하는 빛을 상기 검사부 측으로 전반사하기 위하여 상기 박막 시편의 패턴의 횡단면 또는 종단면과 마주보는 전반사 면을 형성하는 전반사패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면검사부재
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제1항에 있어서,상기 전반사면은 arcsin(n2/n1)003c#θ를 만족하는 a를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면검사부재
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제1항에 있어서,상기 전반사면은 거울로 코팅된 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면검사부재
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제1항에 있어서,상기 패턴과 상기 전반사면 사이에 광학 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면검사부재
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제4항에 있어서,상기 전반사면은 arcsin(n1/m)003c#θ를 만족하는 a를 갖도록 형성되며, 상기 광학 부재는 m＞n1을 만족하는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면검사부재
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패턴과 상기 전반사 패턴 사이에 형성되며, 상기 패턴의 단면 형상을 선명하게 하는 초점조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면검사부재
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패턴의 단면은 종단면 또는 횡단면인 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면검사부재
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전반사 면을 포함하는 전반사 패턴이 형성된 단면검사부재를 제조하는 검사부재 제조단계;상기 전반사 면이 패턴이 형성된 박막 시편의 횡단면 또는 종단면에 마주보도록 상기 단면검사부재를 위치시키는 검사부재 부착단계;광원으로부터 나온 빛이 상기 패턴의 단면에 입사되는 광 조사단계;상기 빛이 상기 패턴의 단면을 투과하여 상기 단면검사부재의 전반사 패턴의 전반사면에 입사하는 단면 투과단계;상기 전반사면에 입사된 빛이 전반사를 일으키는 전반사 단계;상기 전반사면에서 전반사 된 빛이 검사부를 향하여 입사되며, 상기 검사부를 향하여 입사된 빛을 감지하는 광 감지단계; 및상기 검사부가 신호를 보내고 출력 수단에 의하여 단면 형상을 출력하는 출력단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면 검사 방법
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제8항에 있어서,상기 전반사면은 arcsin(n2/n1)003c#θ를 만족하는 a를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면 검사 방법
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제8항에 있어서,상기 패턴과 상기 전반사면 사이에 광학 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면 검사 방법
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제10항에 있어서,상기 전반사면은 arcsin(n1/m)003c#θ를 만족하는 a를 갖도록 형성되며, 상기 광학 부재는 m＞n1을 만족하는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면 검사 방법
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제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패턴과 상기 전반사 패턴 사이에 형성되며, 상기 패턴의 단면 형상을 선명하게 하는 초점조절부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면 검사 방법
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제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패턴의 단면은 종단면 또는 횡단면인 것을 특징으로 하는 전반사 패턴을 이용한 단면 검사 방법
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