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기판;상기 기판 상에 형성되고, 유입구와 유출구를 가지며 상기 유입구와 유출구 사이를 연결하도록 형성되어 세포가 흘러갈 수 있는 미세유체채널을 구비한 채널형성층; 및상기 기판 상에서 상기 채널형성층과 동일한 층을 점유하며, 상기 미세유체채널에 대응하여 연결되어 유체채널 역할을 하도록 하여 상기 세포가 전극 사이를 흘러갈 수 있는 전극 간격을 두고 서로 이격된 제1 전극과 제2 전극을 포함하는 필터형 전극;을 포함하고,상기 필터형 전극에 임피던스 측정기가 연결되며,상기 필터형 전극에 형성되는 상기 전극 간격은 상기 미세유체채널의 경로방향을 따라 갈수록 좁아지는 것을 특징으로 하는 필터형 전극칩을 포함하는 세포의 임피던스 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 전극 간격은 직선형으로 테이퍼지게 형성되어 점진적으로 좁아지는 것을 특징으로 하는 세포의 임피던스 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 전극 간격은 곡선형으로 테이퍼지게 형성되어 점진적으로 좁아지는 것을 특징으로 하는 세포의 임피던스 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 전극 간격은 계단식으로 점점 좁아지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 세포의 임피던스 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 전극과 제2 전극은 상기 미세유체채널의 경로방향에 대하여 수직한 방향으로 각각 연장되어 단부에 전극패드를 구비한 것을 특징으로 하는 세포의 임피던스 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 유입구와 유출구를 연결하는 상기 미세유체채널로부터 분기되는 흡입채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세포의 임피던스 측정장치
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제 9 항에 있어서,상기 전극 간격은 상기 미세유체채널과 상기 흡입채널이 만나는 지점에 형성되는 것을 특징으로 하는 세포의 임피던스 측정장치
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제 9 항에 있어서,상기 전극 간격은 상기 흡입채널에 대응하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 세포의 임피던스 측정장치
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제 1 항, 제 3 항 내지 제 5 항, 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 세포의 임퍼던스 측정장치를 제조하는 방법에 있어서,상기 미세유체채널의 패턴과 상기 필터형 전극의 패턴을 갖는 마스터 패턴을 제작하는 단계;상기 마스터 패턴 상에 고분자 물질을 도포하고 경화하여 상기 채널형성층을 제작하는 단계;상기 기판 상에 전기도금용 몰드 제작을 위한 포토레지스트를 패터닝하는 단계;상기 포토레지스트 패터닝된 기판 상에 전기도금하여 상기 필터형 전극을 형성하는 단계;상기 채널형성층과 상기 필터형 전극이 형성된 기판의 표면을 개질하는 단계; 및상기 채널형성층과 상기 전극층이 형성된 기판을 합착하는 단계를 포함하는 세포의 임피던스 측정장치 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 채널형성층을 제작하는 단계는, 상기 마스터 패턴 상에 PDMS (Polydimethylsiloxane)을 도포하고 경화시키는 것을 특징으로 하는 세포의 임피던스 측정장치 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 기판 상에 시드(seed)를 형성하고 상기 필터형 전극의 전극 간격에 대응하는 부분의 시드를 제거하는 시드 패터닝 단계를 더 포함하는 세포의 임피던스 측정장치 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 포토레지스트를 제거한 후 상기 필터형 전극의 표면에 금(Au)을 코팅하여 전극표면층을 형성하는 단계를 더 포함하는 세포의 임피던스 측정장치 제조방법
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제 1 항, 제 3 항 내지 제 5 항, 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 세포의 임퍼던스 측정장치를 제조하는 방법에 있어서,상기 기판 상에 전기도금용 몰드 제작을 위한 제1 포토레지스트를 패터닝하는 단계;상기 제1 포토레지스트 패터닝된 기판 상에 전기도금하여 상기 필터형 전극을 형성하는 단계;상기 전극층이 형성된 기판 상에 상기 미세유체채널 형성을 위한 제2 포토레지스트를 도포하고 상기 미세유체채널의 패턴을 따라 패터닝하는 단계;상기 제2 포토레지스트를 상기 전극층의 두께와 같아지도록 연마하여 채널형성층을 형성하는 단계; 및상기 전극층과 채널형성층이 형성된 기판 상에 덮개층을 합착하는 단계를 포함하는 세포의 임피던스 측정장치 제조방법
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