[KST2015128257][한국기계연구원] |
접촉식 반도체 리소그라피 장치용 웨이퍼 척 및 이것을이용한 웨이퍼 압착방법 |
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[KST2015002223][한국기계연구원] |
간섭 리소그라피 시스템의 진공 척 |
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[KST2015130715][한국기계연구원] |
진공 척 |
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[KST2015130714][한국기계연구원] |
진공 척 |
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[KST2020001617][한국기계연구원] |
마이크로 소자의 간격 조절 전사방법 및 이를 이용하여 제조되는 전자기기 |
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[KST2017018088][한국기계연구원] |
도전 물질의 패터닝 장치 및 방법(PATTERNING APPARATUS AND METHOD OF CONDUCTIVE MATERIAL) |
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[KST2015129390][한국기계연구원] |
버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 스테이지 |
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[KST2014066240][한국기계연구원] |
3차원 가변형 가공시스템 |
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[KST2021008943][한국기계연구원] |
마이크로 소자의 간격 조절 전사방법 |
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[KST2022009599][한국기계연구원] |
기판 고정 장치 |
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[KST2016002388][한국기계연구원] |
선형 모션 스테이지 받침 구조를 갖는 복합 가공 가변 머시닝 장치 |
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[KST2015129412][한국기계연구원] |
테이블 업다운 회전오차 방지 장치 |
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[KST2021000180][한국기계연구원] |
실시간 정렬이 가능한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법 |
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[KST2019026040][한국기계연구원] |
미세 소자의 제조 장치 |
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[KST2015129025][한국기계연구원] |
압착성형장치의 편심보정용 자가정렬 스테이지 |
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[KST2023004099][한국기계연구원] |
전사필름 및 이를 이용한 전사방법 |
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[KST2016000376][한국기계연구원] |
도금 장비용 웨이퍼 지그 |
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[KST2015129098][한국기계연구원] |
기판 정렬 모듈 및 이를 구비하는 리소그래피 장치 |
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[KST2016013248][한국기계연구원] |
고온 국부가열 방식의 서셉터 및 이를 갖는 히팅 장치(HIGH TEMPERATURE LOCAL HEATING TYPE SUSCEPTOR AND HEATING APPARATUS HAVING THE SAME) |
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[KST2015129144][한국기계연구원] |
차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지 |
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[KST2014039728][한국기계연구원] |
간섭 리소그라피 시스템의 진공 척 |
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[KST2015129644][한국기계연구원] |
단일체로 가공된 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지 및 이의 제작방법 |
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[KST2018013838][한국기계연구원] |
비전도성 접착박막을 이용한 마이크로 소자 전사방법 |
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[KST2016004071][한국기계연구원] |
5 자유도 운동 오차 보정 기능을 갖는 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법 |
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[KST2019026005][한국기계연구원] |
이동형 가공기 이송기구 |
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[KST2016019748][한국기계연구원] |
용액 공정 장치 및 이를 이용한 다층 구조 소자의 제조 방법(SOLUTION PROCESS APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF MULTILAYERED STRUCTURE DEVICE USING THE SAME) |
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[KST2021000181][한국기계연구원] |
실시간 장력제어를 이용한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법 |
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[KST2015130464][한국기계연구원] |
3방향 자기유도형 마그네틱 베어링을 갖춘 자기부상장치 |
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[KST2018006776][한국기계연구원] |
미세패턴 또는 미세채널 형성을 위한 직접 열가압 임프린트 방법(DIRECT IMPRINT METHOD FOR FORMING FINE PATTERN OR FINE CHANNEL) |
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