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기판(500) 상면에 카본재료층(200)을 전사하는 단계(S10);상기 카본재료층(200) 상면에 열전재료층(400)을 증착하는 단계(S20);상기 열전재료층(400) 상면에 카본재료층(200)을 전사하는 단계(S30); 및상기 S20단계 및 S30단계를 반복하여 카본재료층(200)과 열전재료층(400)이 번갈아 적층되도록 형성하는 단계(S40); 를 포함하여 이루어지는 카본 재료를 이용한 열전박막 제조방법
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제1항에 있어서,상기 S10단계에서 카본재료층(200)은 그래핀, 탄소나노튜브 또는 그라파이트 중 어느 하나이거나 둘 이상이 혼합 또는 적층된 것을 특징으로 하는 카본 재료를 이용한 열전박막 제조방법
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제1항에 있어서,상기 S20단계 또는 S40단계 후 열전재료층(400)을 특정한 온도 및 특정한 가스 분위기에서 후열처리 하는 단계(S25)가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 카본 재료를 이용한 열전박막 제조방법
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일면에 그래핀층(210)이 형성된 금속부재(100)의 그래핀층(210)에 열박리 테잎(300)을 부착하고 에칭을 이용하여 금속부재(100)를 제거하는 단계(SA10);상기 열박리 테잎(300)에 부착된 그래핀층(210)의 상면에 열전재료층(400)을 증착하는 단계(SA20);상기 열전재료층(400)을 기판(500)에 밀착시키고 가열하면서 열박리 테잎(300)을 제거하여, 상기 기판(500)에 열전재료층(400)과 그래핀층(210)을 전사하는 단계(SA30);상기 기판(500)의 최상층인 그래핀층(210) 상면에, SA10단계 및 SA20단계를 반복하여 형성된 열박리 테잎(300), 그래핀층(210) 및 열전재료층(400) 적층체의 열전재료층(400)을 밀착시키고 가열하면서 열박리 테잎(300)을 제거하여 열전재료층(400)과 그래핀층(210)을 전사하는 단계(SA40); 및상기 S40단계를 반복하여 열전재료층(400)과 그래핀층(210)이 번갈아 적층되도록 형성하는 단계(SA50); 를 포함하여 이루어지는 카본 재료를 이용한 열전박막 제조방법
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제4항에 있어서,상기 SA20단계에서 상기 열전재료층(400)은 상온 내지 열박리테잎(300)의 박리온도 미만의 온도 범위에서 증착되는 것을 특징으로 하는 카본 재료를 이용한 열전박막 제조방법
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제4항에 있어서,상기 SA20단계 또는 SA50단계 후 열전재료층(400)은 특정한 온도 및 특정한 가스 분위기에서 후열처리 하는 단계(SA25)가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 카본 재료를 이용한 열전박막 제조방법
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기판(500) 및 상기 기판(500)의 상측에 번갈아 적층 형성되는 열전재료층(400)과 카본재료층(200)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 열전박막
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