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초정밀 가공기(M)가 내장 배치되며 전체적으로 밀폐 형성되는 챔버;상기 챔버 내부로 공기의 공급 및 배출이 이루어지는 공기유동라인;상기 챔버의 전 영역을 둘러 배치되는 온도감지수단;상기 온도감지수단으로부터 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집수단;상기 데이터 수집수단에서 수집된 온도 데이터를 이용하여 상기 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 제어하는 제어부;상기 챔버 내부로 공기를 공급 순환시키는 송풍기;상기 송풍기에 의해 공급되는 공기를 가열하는 가열수단; 및상기 송풍기에 의해 공급되는 공기를 냉각하는 냉각수단;을 포함하고,상기 온도감지수단은 상기 챔버의 전 영역을 둘러 설정된 간격으로 이격 배치되는 복수 개의 열전대로 이루어지되, 상기 열전대 각각은 상기 챔버의 벽면 양측으로 마주하여 동일 위치상에 한 쌍이 배치되어, 상기 챔버 내, 외부 온도를 동시에 감지하는 것을 특징으로 하는 챔버 내부온도 제어 장치
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청구항 1에 있어서,외부로부터 인가된 전원을 직류-교류로 전환하여 상기 송풍기의 출력을 조절함으로써, 상기 챔버 내부로의 공기 공급을 조절하는 인버터를 더 포함하는 챔버 내부온도 제어 장치
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청구항 1의 챔버 내부온도 제어 장치를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법으로서, 상기 챔버의 벽면 양측에 배치된 상기 한 쌍의 열전대에서 감지된 상기 챔버 내, 외부 온도를 비교하여, 상기 챔버 외부 온도에 비해 상기 챔버 내부 온도가 높을 경우 상기 송풍기와 냉각수단을 가동한 상태에서 상기 챔버 내부 온도를 설정된 온도까지 제어하고, 상기 챔버 외부 온도에 비해 챔버 내부 온도가 낮을 경우 상기 송풍기와 가열수단을 가동하여 상기 챔버 내부 온도를 설정된 온도까지 제어하는 챔버 내부온도 제어 방법
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청구항 1의 챔버 내부온도 제어 장치를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법으로서, 상기 챔버의 벽면 내부에 배치된 상기 복수 개의 열전대로부터 상기 챔버 내부 전 영역의 온도 데이터를 상기 데이터 수집수단에서 수집하고, 상기 수집된 온도 데이터를 산술평균 온도로 연산하되, 상기 연산된 산술평균 온도가 설정된 온도로 유지될 수 있도록 제어하는 챔버 내부온도 제어 방법
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청구항 1의 챔버 내부온도 제어 장치를 이용한 챔버 내부온도 제어 방법으로서, 초정밀 가공 중에 상기 챔버에 내장 배치된 상기 초정밀 가공기의 스핀들 주변의 온도를 집중 감지하여, 상기 감지된 스핀들 주변의 온도가 설정된 온도로 유지될 수 있도록 제어하는 챔버 내부온도 제어 방법
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