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일정거리 이격되어 나란하게 구비되는 상판 및 하판; 및상기 상판의 하측면에 돌출형성되는 제1블록과, 상기 하판의 상측면에 돌출형성되며, 상기 제1블록과 z축 방향으로 일정거리 이격되어 형성되는 제2블록과, 상기 제1블록과 탄성 힌지로 연결되며, 수평방향으로 연장 형성되는 제3블록과, 상기 제2블록과 탄성 힌지로 연결되며, 수평방향으로 연장 형성되는 제4블록과, 상기 제3블록 및 제4블록에 탄성 힌지로 연결되며, 상기 제3블록 및 제4블록을 수직방향으로 연결하는 제5블록과, 서로 마주보도록 형성되는 상기 제5블록 사이 공간에 장착되어 수평방향으로 변위가 발생되는 선형 액추에이터를 포함하여 형성되는 브릿지 유닛;상기 상판, 브릿지 유닛 및 하판의 중심부가 관통되어 형성되는 관통홀; 을 포함하여 형성되며,상기 제1블록 및 제2블록이 상기 관통홀을 중심으로 90도 간격으로 4개 구비되며, 상기 제3블록 및 제4블록이 상기 관통홀을 중심으로 방사방향으로 연장되어 형성되되,180도 간격으로 배치된 한 쌍의 상기 제1블록(310) 내지 제5블록(350)이 하나의 변위확대 메커니즘(10)이라고 볼 때, 변위확대 메커니즘(10) 2개를 교차시켜 입체적으로 배치한 형태로 상ㆍ하 운동의 1자유도를 가지며, 상판(110), 하판(120) 및 브릿지 유닛(300)이 단일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지
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제 1항에 있어서,상기 브릿지 유닛은상기 제1블록 및 상기 제5블록 사이와, 상기 제2블록 및 제5블록 사이에상기 제3블록 및 제4블록이 적어도 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지
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제 1항에 있어서,상기 선형 액추에이터는압전 소자인 것을 특징으로 하는 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지
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제 1항에 있어서,상기 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지는상기 선형 액추에이터의 수평 방향 변위 발생으로 인해 서로 마주보는 상기 제5블록의 이격거리가 변동되면,상기 상판이 수직방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지
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제 1항, 4항 내지 6항 중 어느 한 항에 의한 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지를 제작하는 방법에 있어서,a) 하나의 사각형 블록에서 z축 방향으로 상기 상판에서 하판까지 상기 관통홀을 가공하는 단계;b) 밀링으로 상기 상판 및 하판 사이 공간을 1차적으로 가공하여, 90도 간격으로 형성되는 상기 제1블록 내지 제5블록이 1차적으로 형성되도록 하는 단계;c) 와이어커팅으로 상기 제1블록 내지 제5블록을 2차 가공하고, 밀링 및 와이어 커팅으로 상기 탄성 힌지를 가공하는 단계;d) 서로 마주보는 상기 제5블록 사이 공간에 상기 선형 액추에이터를 장착하는 단계; 를 포함하며, 2개의 변위확대 메커니즘(10)을 교차하여 입체형으로 구성된 상기 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지를 단일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지 제작 방법
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