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축전 결합식 플라즈마 발생장치

  • 기술번호 : KST2015129649
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 공간적으로 균일한 플라즈마를 발생시키고, 대용량 및 대면적 처리가 용이한 축전 결합식 플라즈마 발생장치를 제공한다. 축전 결합식 플라즈마 발생장치는 유전 지지체와 구동 전극 및 지지부를 포함한다. 유전 지지체는 내부에 플라즈마 생성 공간을 형성하며, 일측에 가스 주입구와 반대편 일측에 가스 배출구를 형성한다. 구동 전극은 유전 지지체에 고정되고, 전원부로부터 교류 전압을 인가받아 유전 지지체의 내부에 플라즈마를 생성한다. 지지부는 유전 지지체의 내부에서 처리 대상물을 지지하며, 유전 지지체의 축 방향을 따라 구동 전극과 가스 배출구 사이에 위치한다.
Int. CL H05H 1/34 (2006.01)
CPC H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01)
출원번호/일자 1020130054469 (2013.05.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1512159-0000 (2015.04.08)
공개번호/일자 10-2014-0101261 (2014.08.19) 문서열기
공고번호/일자 (20150415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130014704   |   2013.02.08
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.14)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강우석 대한민국 대전 유성구
2 허민 대한민국 대전 유성구
3 이재옥 대한민국 대전 유성구
4 송영훈 대한민국 대전 유성구
5 김관태 대한민국 대전 서구
6 이대훈 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0425686-32
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0509776-72
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.09.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0910219-12
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0910218-77
5 등록결정서
Decision to grant		 2015.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0039033-66
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
일측에 가스 주입구와 반대편 일측에 가스 배출구를 형성하는 유전 지지체;상기 유전 지지체에 고정되고, 전원부로부터 교류 전압을 인가받는 구동 전극;상기 구동 전극과 상기 가스 배출구 사이에서 상기 유전 지지체에 고정되는 접지 전극; 및상기 유전 지지체의 내부에서 처리 대상물을 지지하는 지지부를 포함하며,상기 유전 지지체의 내부 공간은 직접 플라즈마 처리 영역과 리모트 플라즈마 처리 영역을 포함하고,상기 지지부는 상기 직접 플라즈마 처리 영역과 상기 리모트 플라즈마 처리 영역 중 어느 한 영역에 위치하는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 직접 플라즈마 처리 영역은 상기 가스 주입구를 향한 상기 구동 전극의 일단에서부터 상기 가스 배출구를 향한 상기 접지 전극의 일단에 이르는 영역이고,상기 리모트 플라즈마 처리 영역은 상기 접지 전극과 상기 가스 배출구 사이의 영역인 축전 결합식 플라즈마 발생장치
5 5
제1항에 있어서,상기 접지 전극은,상기 구동 전극을 향해 위치하는 제1 접지 전극; 및상기 제1 접지 전극과 상기 가스 배출구 사이에 위치하는 제2 접지 전극을 포함하는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
6 6
제5항에 있어서,상기 직접 플라즈마 처리 영역은 상기 가스 주입구를 향한 상기 구동 전극의 일단에서부터 상기 가스 배출구를 향한 상기 제1 접지 전극의 일단에 이르는 영역이고,상기 리모트 플라즈마 처리 영역은 상기 제1 접지 전극과 상기 가스 배출구 사이의 영역인 축전 결합식 플라즈마 발생장치
7 7
제1항, 및 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부는 상기 처리 대상물을 승온시키는 가열원을 포함하는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
8 8
제1항, 및 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부와 상기 처리 대상물은 접지되거나 바이어스 전압을 인가받는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
9 9
제1항, 및 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부는 상기 유전 지지체의 내부에 위치하는 한 쌍의 제1 롤러와, 상기 유전 지지체의 외부에 위치하는 한 쌍의 제2 롤러를 포함하며,상기 처리 대상물은 롤-투-롤 이송이 가능한 필름 형태로 구성되는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
10 10
제1항, 및 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리 대상물은 원형 또는 사각형이고,상기 유전 지지체는 상기 처리 대상물의 형상에 대응하여 원통 또는 사각 덕트 모양으로 형성되는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
11 11
일측에 가스 주입구와 반대편 일측에 가스 배출구를 형성하는 유전 지지체;상기 유전 지지체에 고정되고, 전원부로부터 교류 전압을 인가받는 구동 전극;상기 구동 전극과 상기 가스 배출구 사이에서 상기 유전 지지체에 고정되는 접지 전극; 및상기 유전 지지체의 내부에서 처리 대상물을 지지하며, 이송 구동부와 결합되어 상기 유전 지지체의 축 방향을 따라 위치가 조절되는 지지부를 포함하고,상기 유전 지지체의 내부 공간은 직접 플라즈마 처리 영역과 리모트 플라즈마 처리 영역을 포함하며,상기 지지부는 플라즈마 처리 과정에서 상기 직접 플라즈마 처리 영역과 상기 리모트 플라즈마 처리 영역 중 어느 한 영역에 위치하거나 어느 한 영역에서 다른 한 영역으로 이송되는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
12 12
제11항에 있어서,상기 지지부는 상기 플라즈마 처리 과정에서 상기 직접 플라즈마 처리 영역과 상기 리모트 플라즈마 처리 영역 중 어느 한 영역 내에서 위치가 조절되는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
13 13
삭제
14 14
제11항에 있어서,상기 직접 플라즈마 처리 영역은 상기 가스 주입구를 향한 상기 구동 전극의 일단에서부터 상기 가스 배출구를 향한 상기 접지 전극의 일단에 이르는 영역이고,상기 리모트 플라즈마 처리 영역은 상기 접지 전극과 상기 가스 배출구 사이의 영역인 축전 결합식 플라즈마 발생장치
15 15
제11항에 있어서,상기 접지 전극은,상기 구동 전극을 향해 위치하는 제1 접지 전극; 및상기 제1 접지 전극과 상기 가스 배출구 사이에 위치하는 제2 접지 전극을 포함하는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
16 16
제15항에 있어서,상기 직접 플라즈마 처리 영역은 상기 가스 주입구를 향한 상기 구동 전극의 일단에서부터 상기 가스 배출구를 향한 상기 제1 접지 전극의 일단에 이르는 영역이고,상기 리모트 플라즈마 처리 영역은 상기 제1 접지 전극과 상기 가스 배출구 사이의 영역인 축전 결합식 플라즈마 발생장치
17 17
제11항, 제12항, 및 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부는 상기 처리 대상물을 승온시키는 가열원을 포함하는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
18 18
제11항, 제12항, 및 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부와 상기 처리 대상물은 접지되거나 바이어스 전압을 인가받는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
19 19
제11항, 제12항, 및 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이송 구동부는 상기 유전 지지체의 외부에 위치하며, 유압 실린더와 구동 모터 중 어느 하나를 포함하는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
20 20
제11항, 제12항, 및 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 처리 대상물은 원형 또는 사각형이고,상기 유전 지지체는 상기 처리 대상물의 형상에 대응하여 원통 또는 사각 덕트 모양으로 형성되는 축전 결합식 플라즈마 발생장치
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1 EP02765217 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 KR1020140101266 KR 대한민국 FAMILY
3 US20140225502 US 미국 FAMILY

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1 KR20140101266 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
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1 지식경제부 기계연구원 산업기술연구회-협동연구사업 저탄소/저공해를 위한 나노촉매-플라즈마 하이브리드 기술개발 (2/5)