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플라즈마 증착장치 및 이를 이용한 전기 강판의 제조방법

기술번호 : KST2015129679
담당센터 : 부산기술혁신센터
전화번호 : 051-606-6561

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 플라즈마 증착장치 및 이를 이용한 전기 강판의 제조방법이 제공된다. 플라즈마 증착장치는 피증착 구조체와 이격하여 배치되며, 상기 피증착 구조체에 소스물질을 제공하는, 고체 소스부; 상기 고체 소스부 상에 접촉하여 배치되는 냉각전극; 및 상기 피증착 구조체를 가열하는 가열기;를 포함하고, 상기 고체 소스부와 상기 피증착 구조체 사이에 플라즈마가 발생할 수 있다.
Int. CL	C23C 14/40 (2006.01) C23C 16/505 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01) C23C 16/56 (2006.01)
CPC	C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01)
출원번호/일자	1020130022964 (2013.03.04)
출원인	한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2014-0110156 (2014.09.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	거절
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2013.03.04)
심사청구항수	14

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국기계연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	남기석	대한민국	경남 창원시 의창구
2	권정대	대한민국	경남 창원시 성산구
3	김동호	대한민국	경남 창원시 마산회원구
4	조병진	대한민국	경상남도 창원시 성산구
5	정용수	대한민국	경상남도 창원시 성산구
6	김창수	대한민국	경상남도 창원시 성산구
7	윤정흠	대한민국	경남 김해시 월산로 *-,
8	박성규	대한민국	경남 창원시 성산구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김남식	대한민국	서울특별시 서초구 남부순환로**길 -, 층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2	한윤호	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 (삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3	양기혁	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 (삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4	이인행	대한민국	서울특별시 서초구 남부순환로**길 -, 층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
최종권리자 정보가 없습니다

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2013.03.04	수리 (Accepted)	1-1-2013-0189674-14
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.10.07	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2013.11.13	수리 (Accepted)	9-1-2013-0093564-81
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2014.07.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0453765-23
5	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)	2014.08.29	수리 (Accepted)	1-1-2014-0827714-86
6	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2014.09.17	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0879331-55
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2014.09.17	수리 (Accepted)	1-1-2014-0879330-10
8	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2015.02.05	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0085636-00
9	[법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)	2015.03.06	수리 (Accepted)	7-1-2015-0008790-22
10	[명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination)	2015.03.24	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2015-0286665-81
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2015.03.24	수리 (Accepted)	1-1-2015-0286666-26
12	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2015.04.16	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0254445-06
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.11.28	수리 (Accepted)	4-1-2017-5193093-72

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 피증착 구조체와 이격하여 배치되며, 상기 피증착 구조체에 소스물질을 제공하는, 고체 소스부;상기 고체 소스부 상에 접촉하여 배치되는 냉각전극; 및상기 피증착 구조체를 가열하는 가열기;를 포함하고,상기 고체 소스부와 상기 피증착 구조체 사이에 플라즈마가 발생할 수 있는, 플라즈마 증착장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 냉각전극과 상기 고체 소스부는 각각 플레이트 형상을 가지며, 공정가스는 상기 고체 소스부와 상기 피증착 구조체 사이에 제공될 수 있는, 플라즈마 증착장치
3	3 제 1 항에 있어서,상기 냉각전극과 상기 고체 소스부는 상기 냉각전극과 상기 고체 소스부를 관통하는 캐필러리 홀을 포함하고, 상기 캐필러리 홀을 통하여 공정가스가 제공되며, 상기 플라즈마는 상기 캐필러리 홀에서 발생할 수 있는, 플라즈마 증착장치
4	4 제 1 항에 있어서,상기 가열기는 상기 피증착 구조체를 기준으로 상기 고체 소스부와 반대방향에 배치되는, 플라즈마 증착장치
5	5 제 1 강판을 제공하는 단계;상기 제 1 강판을 가열하는 단계;상기 제 1 강판과 이격된 냉각전극과 접촉하는 고체 규소 소스부를 이용하여 상기 제 1 강판 상에 규소층을 형성하는 단계; 및상기 규소층 내 규소가 상기 제 1 강판 내로 확산되도록 상기 제 1 강판을 열처리하여, 규소를 함유하는 제 2 강판을 형성하는 단계;를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
6	6 제 5 항에 있어서,상기 제 1 강판을 가열하는 단계와 상기 규소층을 형성하는 단계는 동시에 수행되는, 전기 강판의 제조방법
7	7 제 6 항에 있어서,상기 제 1 강판을 가열하는 단계는,상기 고체 규소 소스부와 반대방향인 상기 제 1 강판의 일면 상에 가열기를 배치시키는 단계; 및상기 가열기에 의하여 상기 제 1 강판을 가열하는 단계;를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
8	8 제 6 항에 있어서,상기 규소층을 형성하는 단계는, 상기 제 1 강판의 일면의 반대방향인 타면 상에 상기 제 1 강판과 이격된 상기 냉각전극과 접촉하는 고체 규소 소스부를 배치시키는 단계;상기 제 1 강판과 상기 고체 규소 소스부 사이에 국부적으로 플라즈마를 발생시켜 반응 기체의 화학적 반응을 국부적으로 유도하는 단계; 및 상기 제 1 강판을 상기 냉각전극에 대해서 상대적으로 이동하여 상기 제 1 강판의 타면 상에 상기 규소층을 연속적으로 형성하는 단계;를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
9	9 제 8 항에 있어서,상기 냉각전극은 상기 제 1 강판의 타면 상에 서로 이격 배치된 복수의 냉각전극들을 포함하고,상기 제 1 강판을 상기 복수의 냉각전극들에 대해서 상대적으로 이동시키는 단계는, 상기 제 1 강판의 타면 상에 다층 구조의 규소층이 연속적으로 형성하는 단계를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
10	10 제 5 항에 있어서,상기 규소층을 형성하는 단계는 상기 제 1 강판을 가열하는 단계 이후에 수행되는, 전기 강판의 제조방법
11	11 제 10 항에 있어서,상기 제 1 강판을 가열하는 단계는,상기 냉각전극의 바로 아래에 상기 제 1 강판을 배치하기 전에, 상기 제 1 강판의 양면 상에 한 쌍의 가열기들을 배치하는 단계; 및상기 가열기들에 의하여 상기 제 1 강판을 가열하는 단계;를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
12	12 제 10 항에 있어서,상기 규소층을 형성하는 단계는,상기 제 1 강판의 양면 상에 상기 제 1 강판과 이격된 한 쌍의 냉각전극들과 접촉하는 한 쌍의 고체 규소 소스부들을 배치시키는 단계;상기 제 1 강판의 양면과 상기 한 쌍의 고체 규소 소스부들 사이에 국부적으로 플라즈마를 발생시켜 반응 기체의 화학적 반응을 국부적으로 유도하는 단계; 및상기 제 1 강판을 상기 냉각전극에 대해서 상대적으로 이동하여 상기 제 1 강판의 양면 상에 한 쌍의 규소층들을 연속적으로 형성하는 단계를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
13	13 제 12 항에 있어서,상기 한 쌍의 냉각전극들은 상기 제 1 강판의 양면 상에 각각 서로 이격 배치된 복수의 쌍들의 냉각전극들을 포함하고,상기 제 1 강판의 양면 상에 한 쌍의 규소층들을 연속적으로 형성하는 단계는, 상기 제 1 강판의 양면 상에 다층 구조의 규소층들을 연속적으로 형성하는 단계를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
14	14 제 5 항에 있어서,상기 규소층을 형성하는 단계는 상압 플라즈마 화학이송법을 이용하여 수행되는, 전기 강판의 제조방법
15	15 제 5 항에 있어서,상기 규소층을 형성하는 단계는 상기 고체 규소 소스부와 상기 제 1 강판 사이에 반응 기체로 수소를 투입하는 단계를 포함하는, 전기 강판의 제조방법
16	16 제 5 항에 있어서,상기 규소층을 형성하는 단계와 상기 제 1 강판을 열처리하는 단계는 상기 제 1 강판을 이동시키면서 연속적으로 수행하는, 전기 강판의 제조방법

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	지식경제부	한국기계연구원 부설 재료연구소	주요사업	대면적 실리콘 박막태양전지 핵심소재 공정개발 및 평가 기반 구축(4/5)

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2013.03.04	수리 (Accepted)	1-1-2013-0189674-14
2	선행기술조사의뢰서	2013.10.07	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2013.11.13	수리 (Accepted)	9-1-2013-0093564-81
4	의견제출통지서	2014.07.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0453765-23
5	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2014.08.29	수리 (Accepted)	1-1-2014-0827714-86
6	[명세서등 보정]보정서	2014.09.17	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0879331-55
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2014.09.17	수리 (Accepted)	1-1-2014-0879330-10
8	거절결정서	2015.02.05	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0085636-00
9	[법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2015.03.06	수리 (Accepted)	7-1-2015-0008790-22
10	[명세서등 보정]보정서(재심사)	2015.03.24	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2015-0286665-81
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2015.03.24	수리 (Accepted)	1-1-2015-0286666-26
12	거절결정서	2015.04.16	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0254445-06
13	출원인정보변경(경정)신고서	2017.11.28	수리 (Accepted)	4-1-2017-5193093-72


과제고유번호	1415125690
세부과제번호	PNK2860
연구과제명	대면적 실리콘 박막태양전지 핵심소재 공정개발 및 평가 기반 구축
성과구분	출원
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	산업기술연구회
연구주관기관명	재료연구소
성과제출연도	2012
연구기간	201001~201412
기여율	0.5
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	ET(환경기술)


과제고유번호	1711008502
세부과제번호	PNK3290
연구과제명	대면적 실리콘 박막태양전지 핵심소재 공정개발 및 평가 기반 구축
성과구분	출원
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2013
연구기간	201001~201412
기여율	0.5
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	ET(환경기술)

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