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Ni-Fe-Co 합금으로 이루어진 금속 모재 및 상기 금속 모재의 일면에 형성된 유전층을 포함하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척
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제1항에 있어서, 상기 Ni-Fe-Co 합금은 니켈(Ni) 25~35 중량%, 철(Fe) 45~55 중량% 및 코발트(Co) 10~20 중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척
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제2항에 있어서, 상기 Ni-Fe-Co 합금은 Ni 29
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제1항에 있어서, 상기 유전층은 Al2O3, ZrO3, AlN 또는 Y2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척
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5
(a) Ni-Fe-Co 합금으로 이루어진 금속 모재의 일표면을 가공하는 단계; 및(b) 상기 금속 모재의 일표면 상에 유전층 형성하는 단계를 포함하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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6
제5항에 있어서, 상기 Ni-Fe-Co 합금은 니켈(Ni) 25~35 중량%, 철(Fe) 45~55 중량% 및 코발트(Co) 10~20 중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 Ni-Fe-Co 합금은 Ni 29
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8
제5항에 있어서, 상기 유전층은 Al2O3, ZrO3, AlN 또는 Y2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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9
제5항에 있어서, 상기 단계 (a)는 조면화를 위한 블래스트 처리를 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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10
제5항에 있어서, 상기 단계 (b)는 용사법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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11
제10항에 있어서, 상기 용사법은 대기 플라즈마 용사법(APS, Air Plasma Spraying), 진공 플라즈마 용사법(VPS, Vacuum Plasma Spraying), 또는 감압 플라즈마 용사법(LPPS, Low Pressure Plasma Spraying)인 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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12
Ni-Fe-Co 합금으로 이루어진 금속 모재;상기 금속 모재 상에 형성된 제1 유전층;상기 제1 유전층 상에 형성된 전극층; 및상기 전극층 상에 형성된 제2 유전층을 포함하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척
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13
제12항에 있어서, 상기 Ni-Fe-Co 합금은 니켈(Ni) 25~35 중량%, 철(Fe) 45~55 중량% 및 코발트(Co) 10~20 중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척
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14
제13항에 있어서, 상기 Ni-Fe-Co 합금은 Ni 29
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제12항에 있어서, 상기 제1 유전층 및 제2 유전층은 Al2O3, ZrO3, AlN 또는 Y2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척
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16
(a) Ni-Fe-Co 합금으로 이루어진 금속 모재의 일표면을 가공하는 단계;(b) 상기 금속 모재의 일표면 상에 제1 유전층을 형성하는 단계;(c) 상기 제1 유전층 상에 전극층을 형성하는 단계; 및(d) 상기 전극층 상에 제2 유전층을 형성하는 단계를 포함하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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17
제16항에 있어서, 상기 Ni-Fe-Co 합금은 니켈(Ni) 25~35 중량%, 철(Fe) 45~55 중량% 및 코발트(Co) 10~20 중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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18
제17항에 있어서, 상기 Ni-Fe-Co 합금은 Ni 29
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제16항에 있어서, 상기 제1 유전층 및 제2 유전층은 Al2O3, ZrO3, AlN 또는 Y2O3로 이루어진 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 단계 (a)는 조면화를 위한 블래스트 처리를 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 단계 (b) 내지 단계 (d)는 용사법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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제21항에 있어서, 상기 용사법은 대기 플라즈마 용사법(APS, Air Plasma Spraying), 진공 플라즈마 용사법(VPS, Vacuum Plasma Spraying), 또는 감압 플라즈마 용사법(LPPS, Low Pressure Plasma Spraying)인 것을 특징으로 하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척의 제조방법
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