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이온 빔 소스의 몸체를 관통하여 양극을 지지하고, 상기 양극 내부로 냉매를 순환시키기 위한 유로를 가지며, 상기 양극으로 전력을 공급하기 위해 도전성 물질로 이루어지는 제1 구조물; 및상기 제1 구조물과 상기 몸체가 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해 절연 물질로 이루어지며 상기 제1 구조물을 감싸도록 구비되는 제2 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스의 양극 지지부
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제1항에 있어서, 상기 제1 구조물은 상기 양극과 나사 체결되고, 상기 제2 구조물은 상기 몸체를 관통하거나 상기 몸체와 나사 체결되는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스의 양극 지지부
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제1항에 있어서, 상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물 사이를 통해 상기 이온 빔 소스의 진공이 누설되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물 사이에 구비되는 밀봉 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스의 양극 지지부
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제1항에 있어서, 상기 이온 빔 소스의 방전에 의해 발생하는 전도성 물질이 상기 제2 구조물의 표면 전체에 코팅되어 상기 몸체와 상기 양극이 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해 상기 제2 구조물은 표면에 상기 전도성 물질의 코팅을 방지할 수 있는 단차를 갖는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스의 양극 지지부
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내부 공간을 가지며 상면이 개방되고, 내부에 상기 내부 공간으로 가스를 공급하기 위한 가스 공급홀들을 갖는 몸체;상기 몸체의 상면에 상기 내부 공간을 노출하도록 구비되는 음극;상기 몸체의 내부 공간에 상기 음극과 이격되도록 구비되며, 외부로부터 인가되는 전원과 연동하여 상기 음극과 사이에서 전기장을 형성하여 상기 가스를 이온화하는 양극; 및상기 몸체를 관통하여 상기 양극을 지지하고, 상기 양극으로 전력을 공급하기 위해 도전성 물질로 이루어지는 제1 구조물 및 상기 제1 구조물과 상기 몸체가 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해 절연 물질로 이루어지며 상기 제1 구조물을 감싸도록 구비되는 제2 구조물로 이루어지는 양극 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스
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제5항에 있어서, 상기 양극은 상기 전기장 형성시 발생하는 열을 냉각하기 위한 냉매를 순환하기 위한 제1 유로를 가지며, 상기 양극 지지부의 제1 구조물은 상기 양극 내부의 제1 유로로 상기 냉매를 공급 또는 배출하기 위한 제2 유로를 갖는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스
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제5항에 있어서, 상기 양극 지지부는 상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물 사이를 통해 상기 이온 빔 소스의 진공이 누설되는 것을 방지하기 위해 상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물 사이에 구비되는 밀봉 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스
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제5항에 있어서, 상기 이온 빔 소스의 방전에 의해 발생하는 전도성 물질이 상기 제2 구조물의 표면 전체에 코팅되어 상기 몸체와 상기 양극이 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해 상기 제2 구조물은 표면에 상기 전도성 물질의 코팅을 방지할 수 있는 단차를 갖는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스
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제5항에 있어서, 상기 이온 빔 소스의 방전에 의해 발생하는 전도성 물질이 상기 제2 구조물의 표면 전체에 코팅되어 상기 몸체와 상기 양극이 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해 상기 몸체의 내측면에 상기 제2 구조물 둘레를 따라 상기 전도성 물질의 코팅을 방지할 수 있는 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스
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제5항에 있어서, 상기 몸체의 내부 저면에서 상기 양극을 지지하여 상기 양극의 자중에 의한 처짐을 방지하고, 절연 재질로 이루어지는 보조 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스
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제5항에 있어서, 상기 몸체의 내부에 구비되며, 상기 음극 및 상기 양극에 의해 여기된 가스 이온을 집속시키기 위한 자성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 빔 소스
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