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자왜(magnetostrictive) 소재로 이루어진 제1 층 및 상기 제1 층 상에 형성되며 단결정 압전(piezoelectric) 소재로 이루어진 제2 층을 포함하며 이루어지며, 상기 제2층의 압전 단결정의 003c#011003e# 방향은 제2 층의 두께방향과 일치하되, 상기 단결정은 복합 페로브스카이트 결정 구조를 가지는 능면정계 완화형 강유전체(rhombohedral relaxor ferroelectrics) 단결정인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체
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제1항에 있어서, 상기 자왜 소재는 강자성 금속, 페라이트계 세라믹스, 자왜 합금 또는 자성 형상기억 합금인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체
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제2항에 있어서, 상기 강자성 금속은 Ni, Co 또는 Fe인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체
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제2항에 있어서, 상기 페라이트계 세라믹스는 Fe3O4, NiFe2O4, MnFe2O4, (Ni,Zn)Fe2O4, (Mn,Zn)Fe2O4, CoFe2O4, γ-Fe2O3 또는 바륨페라이트인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체
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제2항에 있어서, 상기 자왜 합금은 Terfenol-D, Gafenol, Samfenol-D 또는 Metglas인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체
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제2항에 있어서, 상기 자성 형상 기억 합금은 Ni2MnGa 합금, NiMnIn 합금, NiCoMnIn 합금, FePd 합금, FeNiGa 합금 또는 CoNiGa 합금인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체
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제1항에 있어서, 제2 층의 단결정 압전 소재는 31 모드 또는 32 모드로 기계적 변형을 전기적 에너지로 변환하는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체
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제10항에 있어서, 제2 층의 단결정 압전 소재는 d31≠d32인 면내 이방성(in-plane anisotropy)을 가지는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체
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제1항 내지 제6항, 제10항 및 제11항 중 어느 한 항의 자기전기 복합재료 적층체를 포함하여 이루어지는 유니모프 캔틸레버형 에너지 하베스트 소자
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제12항에 있어서, 길이 방향으로 d32(003c#100003e# 방향)를 갖는 것을 특징으로 하는 유니모프 캔틸레버형 에너지 하베스트 소자
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제12항에 있어서, 상기 유니모프 캔틸레버형 에너지 하베스트 소자는 자유단 측에 설치되는 질량체(proof mass)를 더 포함하되, 상기 질량체는 상기 자기전기 복합재료 적층체의 제1 층의 하면 및 제2 층의 상면 중 적어도 한 곳 이상에 설치되는 것을 특징으로 하는 유니모프 캔틸레버형 에너지 하베스트 소자
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제14항에 있어서, 상기 질량체는 Sm계 영구자석, Nd계 영구자석, AlNiCo계 영구자석, 철(Fe), 니켈(Ni) 또는 세라믹 페라이트로 이루어진 것을 특징으로 하는 유니모프 캔틸레버형 에너지 하베스트 소자
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자왜(magnetostrictive) 소재로 이루어진 제1 층을 준비하는 단계;복합 페로브스카이트 결정 구조를 가지는 능면정계 완화형 강유전체(rhombohedral relaxor ferroelectrics) 단결정 압전(piezoelectric) 소재로 이루어진 층으로서 상기 단결정의 003c#011003e# 방향은 층의 두께방향과 일치하는 제2 층을 준비하는 단계; 및상기 제1 층 상에 제2 층을 적층하는 단계를 포함하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 일측단에 질량체(proof mass)를 설치하는 단계로서, 상기 제1 층의 하면 및 제2 층의 상면 중 한 곳 이상에 상기 질량체를 설치하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 제조방법
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제16항 또는 제17항에 있어서, 상기 제1 층 상에 제2 층을 적층하는 단계는 에폭시를 이용한 접착에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 제조방법
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제16항 또는 제17항에 있어서, 상기 자왜 소재는 강자성 금속, 페라이트계 세라믹스, 자왜 합금 또는 자성 형상기억 합금인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 제조방법
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제19항에 있어서, 상기 강자성 금속은 Ni, Co 또는 Fe인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 제조방법
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제19항에 있어서, 상기 페라이트계 세라믹스는 Fe3O4, NiFe2O4, MnFe2O4, (Ni,Zn)Fe2O4, (Mn,Zn)Fe2O4, CoFe2O4, γ-Fe2O3 또는 바륨페라이트인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 제조방법
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제19항에 있어서, 상기 자왜 합금은 Terfenol-D, Gafenol, Samfenol-D 또는 Metglas인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 제조방법
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제19항에 있어서, 상기 자성 형상 기억 합금은 Ni2MnGa 합금, NiMnIn 합금, NiCoMnIn 합금, FePd 합금, FeNiGa 합금 또는 CoNiGa 합금인 것을 특징으로 하는 에너지 하베스트 소자용 자기전기 복합재료 적층체의 제조방법
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