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방전 가스 주입구와 연결된 본체 및 플라즈마 배출구와 연결된 노즐부를 구비하는 유전 지지체;상기 본체에 고정되고, 전원부로부터 교류 전압을 인가받아 상기 본체의 내부 공간에 플라즈마를 생성하는 구동 전극; 및상기 노즐부의 외측에서 처리 대상물을 지지하는 접지 전극을 포함하며,상기 노즐부는 상기 본체와 일체로 연결된 경사면을 포함하고, 상기 플라즈마 배출구의 폭을 상기 본체의 폭보다 작게 하여 상기 처리 대상물로 리모트 플라즈마를 집중시키는 리모트 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 본체는 제1 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 장변부와, 제2 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 단변부를 포함하는 리모트 플라즈마 발생장치
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제2항에 있어서,상기 경사면은 상기 제1 방향과 상기 제2 방향 중 어느 한 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 경사면으로 이루어지는 리모트 플라즈마 발생장치
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제2항에 있어서,상기 경사면은 상기 제1 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 경사면과, 상기 제2 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 경사면으로 이루어지는 리모트 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 본체는 원통 모양으로 형성되고,상기 노즐부는 깔때기 모양으로 형성되어 상기 플라즈마 배출구가 상기 본체보다 작은 직경을 가지는 리모트 플라즈마 발생장치
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접지 전극의 양측에 위치하는 복수의 이송 롤러를 더 포함하며,상기 복수의 이송 롤러는 리모트 플라즈마 처리 과정에서 상기 처리 대상물을 한 방향으로 이동시키는 리모트 플라즈마 발생장치
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접지 전극은 상기 처리 대상물을 지지하는 제1 접지 전극과, 상기 유전 지지체에 고정된 제2 접지 전극을 포함하는 리모트 플라즈마 발생장치
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제7항에 있어서,상기 제2 접지 전극은 상기 본체의 외벽과 접하며 상기 구동 전극과 상기 노즐부 사이에 위치하는 리모트 플라즈마 발생장치
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 노즐부를 둘러싸며 상기 본체에 고정된 챔버를 더 포함하며,상기 챔버는 접지 전위에 연결된 리모트 플라즈마 발생장치
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