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요부와 철부가 형성된 제1구조체와, 상기 요부를 마감하여 채널을 형성하는 제2구조체를 구비하는 구조체; 상기 구조체가 수용되며, 상기 제1구조체 및 상기 제2구조체의 체결력을 향상시키도록 상기 구조체의 외면에 압력을 가하는 유체가 수용되는 수용부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 소자
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제1항에 있어서,상기 수용부와 연결되어 상기 수용부의 내부로 유체를 공급하는 유체공급부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 소자
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요부와 철부가 형성된 제1구조체와, 상기 요부를 마감하여 채널을 형성하는 제2구조체를 구비하는 구조체; 상기 구조체를 수용하는 수용부; 상기 수용부과 연결되어 상기 수용부의 내부의 유체를 흡입하는 유체흡입부;를 포함하며, 상기 수용부의 내부의 유체가 상기 유체흡입부에 의해 흡입됨으로써 상기 수용부가 수축되어 상기 구조체의 외면에 일정한 압력이 가해지는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 소자
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1구조체와 상기 제2구조체 사이에 개재되며, 상기 제1구조체의 철부의 일부를 수용하여 상기 채널의 높이가 균일해지도록 하는 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 소자
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제4항에 있어서,상기 버퍼층의 두께는 상기 채널의 높이에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 소자
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요부와 철부가 형성되는 제1구조체를 제작하는 제1구조체 제작단계; 제2구조체로 상기 요부를 마감하여 채널을 형성하는 채널형성단계; 수용부의 내부에 상기 제1구조체 및 상기 제2구조체를 수용시킨 다음, 상기 수용부의 내부로 유체를 공급하여 공급되는 유체가 상기 제1구조체 및 상기 제2구조체의 외면에 일정한 압력을 가하는 가압단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 소자의 제작방법
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요부와 철부가 형성되는 제1구조체를 제작하는 제1구조체 제작단계; 제2구조체로 상기 요부를 마감하여 채널을 형성하는 채널형성단계; 수용부의 내부에 상기 제1구조체 및 상기 제2구조체를 수용시킨 다음, 상기 수용부의 내부의 유체를 흡입함으로써 상기 수용부를 수축시켜 상기 수용부가 상기 제1구조체 및 상기 제2구조체의 외면에 일정한 압력을 가하는 가압단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 소자의 제작방법
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제6항 또는 제7항에 있어서,상기 채널형성단계 이전, 상기 철부가 형성되는 단면에 버퍼층을 형성하는 버퍼층 형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널 소자의 제작방법
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