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기준시편과 측정시편을 지지하는 지지부;상기 기준시편과 측정시편으로 전자빔을 주사하는 전자빔 주사부;상기 기준시편과 측정시편에서 산란하는 전자를 검출하는 전자 검출부;상기 전자 검출부에 연결되고, 상기 기준시편과 측정시편의 미세 패턴에 대한 이미지를 검출하는 이미지 검출부;상기 이미지 검출부에서 검출된 이미지로부터 미세패턴에 대한 그레이 레벨을 추출하는 그레이 레벨 추출부;상기 기준시편의 깊이에 따른 그레이 레벨 데이터를 산출하는 데이터 산출부;상기 데이터 산출부에서 산출된 데이터를 저장하는 메모리부;상기 메모리부에 저장된 데이터와 상기 측정시편의 미세패턴에 대한 그레이 레벨을 근거로 상기 측정시편의 미세패턴 내부에 대한 프로파일을 추출하는 프로파일 추출부를 포함하는 측정시편의 미세패턴 내부 프로파일 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 프로파일 추출부는,상기 측정시편의 미세패턴의 깊이 정보를 추출하는 정보 추출부;상기 추출된 깊이 정보를 근거로 상기 측정시편의 단면 이미지를 추출하는 화상 형성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정시편의 미세패턴 내부 프로파일 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 기준시편은 수광면이 높이 방향을 따라 복수로 형성되도록 단차지게 형성되며, 각 수광면은 기설정된 높이로 위치하는 것을 특징으로 하는 측정시편의 미세패턴 내부 프로파일 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 기준시편은 상기 전자빔을 수광하는 수광면이 외측에서 내측으로 갈수록 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 측정시편의 미세패턴 프로파일 형성장치
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기준시편에 전자빔을 주사하여 기준시편의 깊이에 관한 그레이 레벨 데이터를 산출하고 저장하는 단계;측정시편의 미세패턴에 전자빔을 주사하여 측정시편의 그레이 레벨을 추출하는 단계;상기 기준시편의 그레이 레벨 데이터를 근거로 상기 측정시편 미세패턴의 깊이를 결정하는 단계;상기 측정시편의 깊이를 근거로 상기 측정시편의 미세패턴 프로파일을 획득하는 단계를 포함하는 측정시편의 미세패턴 내부 프로파일 형성방법
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