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롤 형태의 기판 외주면에 박막층을 형성하는 박막층 형성단계;상기 박막층의 자기조립(self assembly)을 유도하는 자기조립 유도단계; 및상기 박막층을 현상하여 제1패턴을 형성하는 제1패턴 형성단계를 포함하고,상기 박막층 형성단계는,상기 박막층의 소재가 되는 코팅액이 수용된 코팅액 수용조에 상기 기판을 담근 상태에서 상기 기판을 회전시키며, 상기 박막층의 두께가 조절되도록 상기 기판을 제1 속도 범위에서 회전시키는 제1 두께 조절단계를 구비하는 제1처리단계; 및상기 기판을 상기 코팅액 수용조로부터 이탈시킨 상태에서 상기 기판을 회전시키며, 상기 제1 두께 조절단계에서 조절된 상기 박막층의 두께가 재조절되도록 상기 기판을 제2 속도 범위에서 회전시키는 제2 두께 조절단계를 구비하는 제2처리단계를 포함하며,상기 제2 속도 범위에서의 상기 기판의 회전 속도는 상기 제1 속도 범위에서의 상기 기판의 회전 속도보다 크며, 상기 코팅액은,은 나노 입자 현탁액(suspensions) 또는 은 이온 용액(solution)인 것을 특징으로 하는 심리스 롤마스터 제작방법
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제1항에 있어서,상기 제1패턴을 마스크로 하여 상기 기판의 외주면을 에칭하여 제2패턴을 형성하는 제2패턴 형성단계; 및상기 제1패턴을 제거하는 제거단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 심리스 롤마스터 제작방법
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제1항에 있어서,상기 박막층 형성단계는 상기 박막층이 어닐링(annealing)되도록 챔버 내에서 상기 기판을 회전시키는 제3처리단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 심리스 롤마스터 제작방법
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제5항에 있어서,상기 박막층 형성단계 이전에 상기 기판의 외면을 친수처리하는 전처리단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 심리스 롤마스터 제작방법
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제6항에 있어서,상기 전처리단계 이전에 건식 플라즈마 또는 습식 산 처리를 통하여 상기 기판의 외주면을 세정하는 세정단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 심리스 롤마스터 제작방법
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제5항에 있어서,상기 자기조립 유도단계에서 상기 박막층의 자기조립은 상기 챔버 내에서 열 또는 자외선광(UV)를 조사함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 심리스 롤마스터 제작방법
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제3항에 있어서,상기 제2패턴은 단면이 도트(DOT) 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 심리스 롤마스터 제작방법
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