| 1 |
1
목표위치를 입력받아 위치궤적, 속도궤적 및 가속도궤적을 생성하는 궤적생성기;상기 위치궤적 및 모터에 연결된 엔코더로부터 현재위치를 입력받아 위치제어 신호를 출력하는 위치제어기;상기 속도궤적, 상기 위치제어기에서 출력된 신호 및 상기 엔코더에 연결된 속도계산부로부터 현재속도를 입력받아 속도제어 신호를 출력하는 속도제어기;상기 가속도궤적 및 상기 속도제어기에서 출력된 신호를 입력받아 상기 모터를 제어하는 모터 드라이버;상기 속도제어기와 모터 드라이버 사이에 병렬로 연결되며, 상기 가속도궤적 및 상기 속도제어기에서 출력된 신호에서 특정 주파수 대역을 감쇠시키는 제1노치필터와 제2노치필터; 및상기 제1노치필터를 연결 또는 차단시키는 제1스위치와 상기 제2노치필터를 연결 또는 차단시키는 제2스위치; 를 포함하여 이루어지며,상기 제1노치필터 및 제2노치필터는 감쇠시키는 주파수 대역이 서로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 빔형 기판이송 로봇의 진동 저감 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제1노치필터는 기판이 적재되지 않은 포크의 유연모드 주파수를 중심주파수로 하여 감쇠시키며, 상기 제2노치필터는 기판이 적재된 포크의 유연모드 주파수를 중심주파수로 하여 감쇠시키는 것을 특징으로 하는 빔형 기판이송 로봇의 진동 저감 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 제1스위치가 연결되면 제2스위치는 차단되고, 상기 제2스위치가 연결되면 제1스위치는 차단되는 것을 특징으로 하는 빔형 기판이송 로봇의 진동 저감 장치
|
| 4 |
4
기판이 적재되지 않은 포크의 유연모드 주파수를 중심주파수로 하여 감쇠시키는 제1노치필터 및 기판이 적재된 포크의 유연모드 주파수를 중심주파수로 하여 감쇠시키는 제2노치필터가 구비된 빔형 기판이송 로봇의 진동 저감 장치를 이용한 진동 저감 방법에 있어서,미리 결정된 공정 궤적에 따라 현재 이동 궤적이 포크에 기판이 적재되지 않은 상태인지 또는 포크에 기판이 적재된 상태인지를 판단하는 단계(S10); 및포크에 기판이 적재되어 있는지 여부에 따라 제1노치필터 및 제2노치필터 중 하나만 ON 되도록 제어하는 단계(S20);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 빔형 기판이송 로봇의 진동 저감 방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 S20단계는,현재 이동 궤적이 포크에 기판이 적재되지 않은 상태이면 제1노치필터를 ON시키고 제2노치필터를 OFF시키는 단계(S21);현재의 이동 궤적에 따라 다음 궤적에서 포크에 기판이 적재될 것으로 판단되면, 포크에 기판이 적재된 상태의 궤적으로 진입하기 직전에 제1노치필터를 OFF시키고 제2노치필터를 ON시키는 단계(S22); 및현재의 이동 궤적에 따라 다음 궤적에서 포크에 기판이 적재되지 않을 것으로 판단되면, 포크에 기판이 적재되지 않은 상태의 궤적으로 진입하기 직전에 제2노치필터를 OFF시키고 제1노치필터를 ON시키는 단계(S23);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 빔형 기판이송 로봇의 진동 저감 방법
|
