맞춤기술찾기

이전대상기술

초음파 세정 장치 및 이를 이용한 세정 시스템

  • 기술번호 : KST2015129764
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 초음파 세정 장치는 하면이 피세정물에 대향하도록 구비되고, 내부로 냉각유체가 유입되기 위한 냉각유체유입구와, 내부에 유입된 냉각유체가 배출되기 위한 냉각유체배출구가 형성되는 하우징; 및 상기 하우징의 내부에 수납되는 제1전달체와, 상기 제1전달체의 상면에 각각 경사지게 설치되며 초음파를 발생시키느 제1압전소자 및 제2압전소자와, 상면이 상기 하우징의 하면에 밀착 고정되면서 상기 제1전달체의 하면과 결합되는 제2전달체를 포함하며, 상기 하우징의 내부로 유입된 냉각유체에 의해 냉각되는 진동자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.또한, 본 발명에 따른 초음파 세정 시스템은 초음파 세정 장치; 및 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01)
출원번호/일자 1020130091317 (2013.08.01)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1511018-0000 (2015.04.06)
공개번호/일자 10-2015-0015679 (2015.02.11) 문서열기
공고번호/일자 (20150410) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.01)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전 유성구
2 임의수 대한민국 대전 유성구
3 김현세 대한민국 서울 종로구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0697994-46
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.03.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2014-0032091-68
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0525539-33
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.09.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0918007-26
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0918012-55
7 등록결정서
Decision to grant
2015.01.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0013594-59
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002865-62
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004924-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하면이 피세정물에 대향하도록 구비되고, 내부로 냉각유체가 유입되기 위한 냉각유체유입구와, 내부에 유입된 냉각유체가 배출되기 위한 냉각유체배출구가 형성되는 하우징; 및상기 하우징의 내부에 수납되는 제1전달체와, 상기 제1전달체의 상면에 각각 경사지게 설치되며 초음파를 발생시키는 제1압전소자 및 제2압전소자와, 상면이 상기 하우징의 하면에 밀착 고정되면서 상기 제1전달체의 하면과 결합되는 제2전달체를 포함하며, 상기 하우징의 내부로 유입된 냉각유체에 의해 냉각되는 진동자;를 포함하며,상기 진동자는 상기 제1전달체의 상면에 각각 서로 반대 방향으로 경사진 제1경사면 및 제2경사면이 형성되고, 상기 제1압전소자 및 제2압전소자가 각각 상기 제1경사면 및 제2경사면에 결합되며,상기 제1전달체는 상기 제1경사면과 제2경사면의 둘레면에 각각 단차가 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1전달체는상기 제1경사면과 제2경사면이 서로 대칭되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 초음파 세정 장치는상기 하우징과 제2전달체가 나사결합에 의해 서로 탈착가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
6 6
제1항에 의한 초음파 세정 장치; 및피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치를 이용한 세정 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 에너지다소비 웨이퍼 세정공정의 고효율 핵심모듈 개발 (3/3)