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공구를 홀더에 고정 설치하는 공구 설치단계;상기 공구의 회전에 따른 위치 오차의 수직 성분과 상기 공구의 설치 시에 발생한 위치 오차의 수직 성분을 함께 측정하여 수직방향 오차값을 보정하는 수직오차 보정단계;상기 공구의 회전에 따른 위치 오차의 수평 성분과 상기 공구의 설치 시에 발생한 위치 오차의 수평 성분을 함께 측정하여 수평방향 오차값을 보정하는 수평오차 보정단계;상기 공구를 회전시켜서 기판에 패턴을 형성하는 패턴 가공 단계;를 포함하는 미세 패턴 가공 방법
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제1 항에 있어서,상기 수직오차 보정단계에서는 상기 공구의 회전에 따른 오차의 수직성분과 상기 공구의 회전 시에 상기 공구의 설치에 따라 발생하는 수평 오차인 공구설치 수평오차에 의하여 발생한 오차의 수직성분 값을 합하여 상기 수직오차를 측정하고 수직방향 오차 값을 보정하는 미세 패턴 가공 방법
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제2 항에 있어서,상기 공구의 회전 각도를 θ라 하고, 상기 공구의 설치 시에 발생하는 수평방향 오차인 공구설치 수평오차를 esy라 하며, 상기 공구의 회전 반경을 r이라 할 때, 상기 공구의 위치에 대한 수직방향 오차인 수직오차는 (1-cosθ)·r + esy·sinθ인 미세 패턴 가공 방법
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제3 항에 있어서,상기 수직오차 보정단계는 상기 공구를 제1 각도(θ1)로 회전시킨 후에 패턴에 접촉하는 제1 접촉 단계와 상기 제1 각도(θ1)로 회전된 공구 단부의 수직 위치를 측정하는 제1 수직위치 측정단계와 상기 공구를 상기 제1 각도(θ1)와 상이한 제2 각도(θ2)로 회전시킨 후에 패턴에 접촉하는 제2 접촉 단계, 및 상기 제2 각도(θ2)로 회전된 공구 단부의 수직 위치를 측정하는 제2 수직위치 측정단계를 포함하는 미세 패턴 가공 방법
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제4 항에 있어서,상기 제1 수직위치 측정단계 및 상기 제2 수직위치 측정단계는 상기 공구의 회전이 없을 때의 위치와 제1 각도(θ1) 및 제2 각도(θ2)의 위치의 차이를 통하여 상기 공구의 상대적인 공구의 상대적인 수직 위치를 측정하는 미세 패턴 가공 방법
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제4 항에 있어서,상기 수직오차 보정단계는 이송부재를 이용하여 공구를 수직 오차만큼 이송시키는 수직위치 보정단계를 더 포함하는 미세 패턴 가공 방법
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제4 항에 있어서,상기 제1 수직위치 측정단계 및 상기 제2 수직위치 측정단계는 상기 공구 단부의 수직 위치를 상기 홀더와 연결 설치된 동력계를 이용하여 측정하는 미세 패턴 가공 방법
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제1 항에 있어서,상기 수평오차 보정단계에서는 상기 공구의 설치 시에 발생하는 수평방향 오차인 공구설치 수평오차와 공구설치 수평오차의 회전으로 인하여 발생한 오차의 수평성분 값의 차이를 구하고, 상기 차이를 공구의 회전에 따른 오차와 합하여 상기 수평오차를 측정하고 수평오차를 보정하는 미세 패턴 가공 방법
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제8 항에 있어서,상기 공구의 회전 각도를 θ라 하고, 상기 공구의 설치 시에 발생하는 수평방향 오차인 공구설치 수평오차를 esy라 하며, 상기 공구의 회전 반경을 r이라 할 때, 상기 공구의 위치에 대한 수평방향 오차인 수평오차는 sinθ·r + esy·(cosθ- 1)인 미세 패턴 가공 방법
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제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패턴 가공 단계에서는 상기 공구를 기 설정된 회전각만큼 회전시키면서 상기 기판 상에 미세패턴을 연속적으로 형성하며, 상기 미세 패턴은 경사면을 갖고, 서로 이웃하는 미세 패턴의 경사면의 경사각이 서로 상이하도록 가공하는 미세 패턴 가공 방법
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