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롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법

  • 기술번호 : KST2015129783
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것으로서, 회절격자에서의 레이저 간섭을 이용하여 고분해능으로 롤 표면에 형성된 직선 패턴의 진직도를 측정할 수 있는 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것이다.
Int. CL G01B 11/30 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01)
출원번호/일자 1020130064823 (2013.06.05)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1487440-0000 (2015.01.22)
공개번호/일자 10-2014-0142985 (2014.12.15) 문서열기
공고번호/일자 (20150128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.06.05)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
2 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
3 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
4 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0503010-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.03.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2014-0031411-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0337339-09
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.07.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0662747-12
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0662764-88
7 등록결정서
Decision to grant
2014.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0802648-87
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002865-62
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004924-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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원통형의 롤 표면에 형성된 직선 패턴의 진직도를 측정하는 장치에 있어서,원주방향으로 적어도 하나 이상의 직선 패턴이 형성된 원통형의 롤;레이저를 일정 방향으로 조명하는 레이저발생부;상기 레이저발생부로부터 선형으로 입사된 광을 분할하는 광분할기;상기 광분할기에서 입사된 레이저의 진행방향에 수직으로 배치되며, 하측면에 일정 곡률을 갖는 곡면이 형성된 원통렌즈;상기 원통렌즈 및 롤 사이에 구비되며, 일정 피치의 격자가 상기 롤의 직선 패턴에 나란하도록 배치되는 회절격자;상기 회절격자를 거쳐 상기 롤 표면의 직선 패턴에 수직하게 조사된 레이저가 반사 및 회절되어 형성되며, 0차 회절광을 중심으로 서로 대칭인 위상을 갖는 두 차수의 회절광이 다시 상기 광분할기까지 통과한 다음, 전기적 신호로 변환되어 결상되는 제1검출센서 및 제2검출센서;상기 제1검출센서 및 제2검출센서에 결상된 두 신호의 차를 계산 및 분석하는 신호분석부; 를 포함하여 형성되며,상기 롤 표면의 직선 패턴간의 간격이 상기 회절격자의 2배인 것을 특징으로 하는 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치는상기 제1검출센서에 결상되는 회절광이 -1차 회절광이며,상기 제2검출센서에 결상되는 회절광이 +1차 회절광인 것을 특징으로 하는 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치
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제 3항에 있어서,상기 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치는상기 원통렌즈의 초점 위치에 상기 회절격자 및 상기 롤의 직선 패턴이 위치되는 것을 특징으로 하는 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치
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제 4항에 있어서,상기 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치는상기 직선 패턴의 오차가 존재할 경우,상기 신호분석부에서 -1차 회절광 및 +1차 회절광의 차이를 계산하여 획득된 신호가 사인파를 이루되, 신호의 진폭과 상기 직선 패턴의 오차가 비례하는 것을 특징으로 하는 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치
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제 1항, 제3항 내지 5항 중 어느 한 항에 의한 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치를 이용한 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정방법은a) 상기 레이저발생부에서 상기 광분할기로 레이저를 조명하는 제1단계;b) 상기 광분할기에서 입사된 레이저가 원통렌즈 및 회절격자를 통과하여 상기 롤의 직선 패턴에 수직하게 조사되는 제2단계;c) 상기 롤의 직선 패턴에서 반사된 레이저가 상기 회절격자를 통과하여 회절되며, 0차 회절광을 중심으로 서로 대칭인 위상을 갖는 두 차수의 회절광이 다시 상기 광분할기까지 통과한 다음, 상기 제1검출센서 및 제2검출센서에 결상되는 제3단계;d) 상기 신호분석부에서 상기 제1검출센서 및 제2검출센서에 결상된 두 신호의 차를 계산하여 진직도를 측정하는 제4단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정방법
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제 6항에 있어서,상기 제3단계에서는상기 회절격자를 통과하여 회절된 두 차수의 회절광이 상기 원통렌즈를 통과하여 평행 빔의 형태가 되는 것을 특징으로 하는 롤 표면 직선 패턴의 직진도 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 폭 1m급 광학필름용 원통형 나노패터닝 공정장비 개발 (2/5)