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기판에서 LED 셀을 박리하는 레이저를 이용한 선택적 박리 장치에 있어서,레이저를 발생시키는 레이저 발생부;LED 셀이 형성된 기판을 지지하는 지지대; 및상기 기판의 하부에 설치되며 LED 셀을 기판에서 박리하는 분리부재;를 포함하고,상기 분리부재는 상기 LED 셀과 맞닿는 박리 팁과 상기 박리 팁을 진동시키는 진동 형성부를 포함하며상기 박리 팁은 막대 형상으로 이루어지고, 상기 박리 팁의 선단에는 상기 기판의 하면에 대하여 경사진 경사면이 형성되어, 상기 박리 팁은 상기 LED 셀과 선접촉하는 레이저를 이용한 선택적 박리 장치
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제1 항에 있어서,상기 박리 팁과 상기 진동 형성부는 적층 배치되며, 상기 박리 팁과 상기 진동 형성부 사이에는 로드 셀이 설치된 레이저를 이용한 선택적 박리 장치
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제3 항에 있어서,상기 경사면에는 접착층이 형성된 레이저를 이용한 선택적 박리 장치
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제3 항에 있어서,상기 지지대와 상기 레이저 발생부 사이에는 레이저 빔을 가공하는 광학계가 설치되고 상기 광학계는 레이저 빔을 분할하는 빔 분할기와 분할된 빔 중 하나의 빔이 이동하는 경로의 길이를 조절하는 시간차 조절부를 포함하는 레이저를 이용한 선택적 박리 장치
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레이저를 조사하여 기판을 가열하면서 박리 팁을 진동시키며, 경사면을 갖는 박리 팁을 이용하여 기판에서 LED 셀을 박리하되, 상기 박리 팁과 LED 셀을 선접촉시켜서 LED 셀의 외측부터 기판에서 박리하는 레이저를 이용한 선택적 박리 방법
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제6 항에 있어서,레이저를 조사할 때, 레이저 빔을 분할하며, 분할된 빔들의 시간 차이를 발생시킨 후, 분할된 레이저를 순차적으로 기판으로 입사시키는 레이저를 이용한 선택적 박리 방법
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