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레이저를 기판으로 입사시키는 광학부;기판을 지지하는 지지대; 및상기 기판과 마주하도록 배치되며, 기판에서 반사된 빛을 다시 기판으로 입사시키는 재입사부재;를 포함하며,상기 재입사부재에는 상기 재입사부재를 진동시키는 진동소자가 연결 설치된 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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제1 항에 있어서,상기 재입사부재는 플레이트 또는 막으로 이루어지진 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 재입사부재는 기판과 평행하게 배치되되 상기 기판에서 간격을 두고 이격 배치되며, 상기 재입사부재와 상기 기판 사이의 간격으로 레이저가 입사되는 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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제3 항에 있어서,상기 재입사부재와 상기 기판 사이의 간격은 상기 레이저가 상기 재입사부재에 2회 이상 반사되도록 설정된 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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제3 항에 있어서,상기 레이저는 상기 기판에 대하여 기 설정된 각도로 경사지게 입사하는 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 재입사부재에서 상기 지지대와 마주하는 면은 곡면으로 이루어지고, 상기 지지대에서 상기 재입사부재와 마주하는 면은 곡면으로 이루어진 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 재입사부재와 상기 기판은 평행하거나, 5도 이내의 경사를 갖는 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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삭제
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제2 항에 있어서,상기 광학부는 레이저를 S편광시키는 편광판을 포함하는 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 광학부는 기판에 대한 레이저의 입사각을 조절하는 반사판을 더 포함하고, 상기 반사판에는 상기 반사판을 진동시키는 진동소자가 연결 설치된 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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제2 항에 있어서,상기 지지대에는 상기 지지대를 회전시키는 고니오 스테이지가 연결 설치된 레이저를 이용한 기판 결정화 장치
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레이저를 발생시켜서 기판으로 입사시키는 레이저 발진 단계;기판에서 레이저를 반사시키는 기판 반사 단계; 및 기판에서 반사된 레이저를 기판과 마주하도록 배치된 재입사부재를 이용하여 다시 반사시켜서 기판으로 입사시키는 재입사 단계;를 포함하며,상기 재입사 단계는 재입사부재를 진동시켜서 진동하는 재입사부재로 레이저를 반사시키는 레이저를 이용한 기판 결정화 방법
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제12 항에 있어서,상기 기판 반사 단계와 상기 재입사 단계는 교대로 복수회 실시되는 레이저를 이용한 기판 결정화 방법
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제12 항에 있어서,기판을 지지하는 지지대에 연결 설치된 고니오 스테이지를 이용하여 기판으로 입사되는 레이저의 입사각을 조절하는 단계를 더 포함하는 레이저를 이용한 기판 결정화 방법
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삭제
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제12 항에 있어서,레이저 발진 단계는 레이저를 S편광시키는 편광 단계를 포함하는 레이저를 이용한 기판 결정화 방법
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제12 항에 있어서,상기 레이저 발진 단계는 반사판을 이용하여 레이저를 반사하여 기판으로 입사되는 레이저의 입사각을 조절하는 입사각 조절 단계를 포함하고, 상기 입사각 조절 단계는 반사판을 진동시켜서 진동하는 반사판을 이용하여 레이저를 반사시키는 레이저를 이용한 기판 결정화 방법
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